台阶仪能检测哪些东西？主要应用在哪些领域？.docx

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1、台阶仪工业测量仪器：揭秘多领域应用台阶仪是一种常见的工业测量仪器，广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度1ED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。CP系列台阶仪微米到纳米尺度的表面形貌测量I典型应用玻璃基板及显示器应用柔性电子器件薄膜应用半导体应用大型基板应用工作原理当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。CP200台阶仪采用线性可变差动电容传感器（1VDC）,具有亚埃级分辨率，

2、13Um量程下可达0.01埃，具有良好的测量精度及重复性。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等，没有特别的要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。典型应用1、半导体应用沉积薄膜的台阶高度抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度蚀刻速率测定化学机械抛光(腐蚀、凹陷、弯曲)2、大型基板应用印刷电路板(突起、台阶高度)(2)窗口涂层晶片掩模晶片卡盘涂料抛光板3、玻璃基板及显示器应用(I)AMO1ED(2)液晶屏研发的台阶步级高度测量触控面板薄膜厚度测量太阳能涂层薄膜测量4、柔性电子器件薄膜应用有机光电探测器(2)印于薄膜和玻璃上的有机薄膜触摸屏铜迹线