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1、台阶仪和轮廓仪在工业制造领域的区别和应用领域解析测量和检测是工业制造领域的重要环节,而台阶仪和轮廓仪则是各有其特点和应用范围的两种仪器。台阶仪和轮廓仪区别在哪?一、台阶仪1、产品概述台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器。它是利用光学干涉原理,对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。CP系列台阶仪微米到纳米尺度的表面形貌测量I典型应用玻璃基板及显示器应用柔性电子器件薄膜应用半导体应用大型基板应用2、产品特点台阶仪在工业生产中,常用来保证产品的质量和工艺要求的达标。它对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、
2、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。3、应用台阶仪广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度1ED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。硅晶圆表面粗糙度测量光刻胶膜厚测量玻璃表面涂层厚度测量1ED晶圆台阶高测量光刻胶台阶高曲线测量CP系列台阶仪典型应用二、轮廓仪轮廓仪是测量工件的外形尺寸和形状信息,适用于复杂形状和曲线的测量。按照工作原理不同,可分为接触式轮廓仪(触针式)和光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)。1、接触式轮廓仪(1)产品概述接触式轮廓仪
3、是测量轮廓形状及表面粗糙度的一体机,具备分析测量轮廓形状和表面租糙度的强大功能,实现尺寸、形状、粗糙度三个要素的精准测量。(2)产品特点接触式轮廓仪主要是来测工件测长宽高尺寸、角度、直径、半径等零件轮廓尺寸的测量,还可以进行一些形位公差的评定。测量量程大、精度高。SJ5730具有12mm24mm的大量程粗糙度测量范围,测试轴承内外侧,是大曲面测量(轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子)领域精细粗糙度测量的利器。粗糙度轮廓一体测量仪(3)应用接触式轮廓仪可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业,用于测量各种零件的直线度、倾斜度、角度处理、圆度处理、双沟处理、双圆
4、弧处理等机械零件表面微观几何结构和宏观几何形状的参数。SJ5730可以对零件表面,尤其是大范围曲面,如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测。2、光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)(1)产品概述光学3D表面轮廓仪主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳级别的。能够非接触式快速测量精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸。(2)产品特点光学3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。SUPerVieWW1特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。Ochotest微纳米三维形貌快速测量(3)应用光学3D表面轮廓仪专用于超精密加工领域,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW1光学3D表面轮廓仪应用在具体的项目中,选择台阶仪还是轮廓仪需要根据实际测量需求来进行判断和决策,确保产品的质量和工艺要求的达标。