流化床法颗粒硅总金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.docx

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1、ICS77.040CCSH17YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/TXXXXXXXX流化床法颗粒硅总金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法Testmethodformeasuringtota1meta11icimpuritiescontentingranu1arpo1ysi1iconusedforf1uidizedbedmethodbyinductive1ycoup1edp1asmamassspectrometry（预审稿）XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施中华人民共和国工业和信息化部发布本文件按照GB/T1.1-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定

2、起草。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SACTC203/SC2)提出并归口。本文件起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司本文件主要起草人：.流化床法颗粒硅总金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法1范围本文件规定了电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定流化床法颗粒硅中总金属杂质含量的方法。本文件适用于流化床法颗粒硅总金属杂质如铁、铭、银、铜、钠、镁、铝、钾、钙、锌、钛、铝、鸨、钻等含量的测定，各元素检测检测上限为50ngg,检测下限根据实验室的综合条件决定。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引

3、用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级。ASTMD5127电子和半导体工业中用超纯水指南3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1总金属TotaImeta1样品不进行表面清洗处理，直接加酸消解、蒸干、定容检测得到的金属杂质含量。4方法提要试样用硝酸和氢氟酸溶解，硅以四氟化硅（SiF4）的形式挥发，加热蒸干后，残渣使用硝酸溶液溶解，利用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）在最优条件下测定溶液中待分析金

4、属元素的含量。5干扰因素1.1 样品应具有代表性，样品表面污染会影响检测结果，需要保证取样工具和取样袋的洁净。1.2 所用试剂的纯度，设备的清洁度，房间的洁净度，样品处理过程引入的污染，要严格控制。1.3 仪器测试过程中存在质谱和样品基体效应的干扰，仪器应选择对应的抗干扰模式，保证分析结果的准确性。6试剂或材料6. 1超纯水：所有的水应为ASTMD5127中描述的E-1.2型或其他品质相当的超纯水。6.1 硝酸：各金属杂质含量GOpptw。6.2 氢氟酸：各金属杂质含量1001-1000110001-500016.11 试环境7. 7洁净度：制样和测试区域洁净度应不低于GB/T25915.1-

5、2023中定义的ISo5级的要求。7.1 温度：大于187.2 相对湿度：不大于65%8试样准备8.1 在一批产品中随机抽取一袋双层包装且真空度完好的样品。8.2 在洁净室内先退去外包装袋，将密封完好的内袋拆开，试样用于金属杂质分析。9试验步骤9.1试料称取0.5g1.0g的试样，精确至0.0001g。9.2 平行试验独立地进行二次测定，取其平均值。9.3 空白试验随同试料做空白试验。9.4 工作曲线的绘制9.4.1 混合标准溶液：分别移取铁、铭、银、铜、钠、镁、铝、钾、钙、锌、钛、铝、鸨、钻标准贮存溶液（6.4）,通过硝酸（6.5）逐级稀释成多元素混合标准溶液，此多元素混合标准溶液浓度为10

6、0g109.4.2 标准系列溶液的配置:分别移取01、501IOOuU500u1、10001,2000口1混合标准溶液（9.4.1）于IOOm1洁净的容量瓶中，用硝酸溶液（6.5）定容。配制成浓度为0.00g/1、0.05g/1、0.10gU0.50g11.00gU2.00g1的系列标准溶液。配制的标准系列工作溶液浓度值应尽量接近样品溶液中待测元素的浓度值。注：测试过程中，工作曲线浓度范围可根据各仪器的状况及所测样品的等级不同酌情改变。9.5 样品溶液的制备称取0.5g1og的试样（精确至0.0001g）,至洁净的器皿中（7.2）,缓慢加入适量的消解液（6.6）,在200下将溶液蒸发至干，再次

7、加入适量的消解液（6.6）重复消解后蒸发至干。冷却至室温后，加4m1硝酸溶液（6.5）溶解残渣，待测。9.6 测定9.6.1 质量数的选择表1质量数推荐表元素名称质量数元素名称质量数钠23Na铁56Fe镁24Mg钻59Co铝27A1银60Ni钾39K铜63CCu钙40八44八1a、1a锌667687Zn、Zn钛47Ti铝95Mo络52Cr鸨182W9. 6.2检测将系列标准溶液引入电感耦合等离子质谱仪中，根据试验所选择的仪器最佳测定条件，测定系列标准溶液中各元素的信号值，当工作曲线的线性相关系数0.999时，即可进行试样的测定，根据信号值和浓度的关系计算机自动给出样品中各元素的浓度。10试验数

8、据处理试样中各金属杂质的含量按公式（I）计算:(1)式中：分别为样品中铁、铭、银、铜、钠、镁、铝、钾、钙、锌、钛、铝、鸨、钻金属杂质的含量，单位为纳克每克（ngg）；C2样品溶液中待测元素的浓度，单位为纳克每毫升（ngm1）；ci空白溶液中待测元素的浓度，单位为纳克每毫升（ngm1）；V样品溶液的体积，单位为毫升（m1）；m试样的质量，单位为克（g）。11精密度从同一包装袋颗粒硅中分装出14份，真空密封后送往14个实验室进行检测。实验室内相对标准偏差和实验室间相对标准偏差见表20表2(%)元素NaMgA1KCaCrFeNiCuZnTiMoWCo实验室3.8-19.6-15.6-14.7-17.3-14.1-14.2-13.8-16.4-11.0-24.1-25.3-29.7-25.7-2内RSD6.37.96.48.59.68.87.33.77.95.88.74.68.54.6实验室间RSD9.011.813.614.815.511.912.012.611.419.026.014.822.916.112试验报告试验报告应包含以下内容：a）样品名称；b）使用标准；c）测试环境；d）仪器型号；e）测试结果；f）操作者、测试日期、测试单位;g）其他；