第五章技术要求.docx

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1、第五章技术要求一.货物需求一览表包号货物名称数量（台/套）是否允许采购进口产品采购预算（万元）1离子减薄仪1是86.5低温离子减薄仪1是99等离子清洗仪1是103离子束刻蚀镀膜仪1是94.52手动切割机1是14自动切割机1是27.5热镶嵌机1是14.5冷镶嵌机1是6.5自动磨抛机1是34手动磨抛机2是14布洛维一体硬度计1是68电解双喷仪1是303冷冻截面抛光仪1是90注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。二、具体要求：1.1投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。1.2投标人提供的货物须是成

2、熟的全新的产品，其技术规格应符合采购文件的要求。如与采购文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。13投标人提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。2、本技术规格书中标注“”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离将导致废标。3、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。4.“为证明所投设备参数的真实性，投标商需提供仪器制造商出具的公开发行的产品

3、宣传彩页，如彩页中技术参数不完整，需提供仪器制造商对彩页中未提及技术参数部分的满足说明，否则视同不满足。”三、技术规格书第一包：电镜制样系统（一）技术要求1工作条件1.1 工作电压：220V1.2 环境温度与湿度：温度214,湿度65%2主要参数2.1离子减薄仪1）离子枪：潘宁式离子枪，聚焦离子束设计，无耗件2）样品台旋转：样品台可以旋转，转速21-6rpm可调3）样品台移动：可以实现X和Y方向的移动，移动范围：0.5mm*4）离子枪束能量：最低20.IkeV,最高8.0keV,针对不同电压可自动优化离子束束流。最大离子束流密度210mAcm2*5）离子枪倾斜角度：最低2-10,最高/+10,

4、每只枪可独立调节6）样品更换：快速样品更换时间1min,无需破减薄室真空7）样品台夹具：包含装样器，夹具具备实现样品双面减薄的功能#8）观察系统：配备CCD实时观察系统，可实现22000倍（含4倍数码放大）放大，可实时观察减薄过程9）控制部分：210英寸触摸屏控制，菜单化操作，并支持减薄程序的设定和储存10）真空系统：真空系统由无油机械泵和分子泵系统组成，真空度W5E-6Torr11）工作气体：氧气，操作压力25PSi#12）样品前处理设备：包含可切割脆性材料的超声波切割机2.2低温离子减薄仪1）离子枪：潘宁式离子枪，聚焦离子束设计，无耗件2）样品台旋转：样品台可以旋转，转速21-6rpm可调

5、3）样品台移动：可以实现X和Y方向的移动，移动范围：0.5mm4）离子枪束能量：最低20.IkeV,最高W8.0keV,针对不同电压可自动优化离子束束流，最大离子束流密度210mAcm25）离子枪倾斜角度：最低270,最高W+10,每只枪可独立调节6）样品更换：快速样品更换时间（1min,无需破减薄室真空7）样品台夹具：包含装样器，夹具具备实现样品双面减薄的功能#8）观察系统：配备CCD实时观察系统，可实现22000倍（含4倍数码放大）放大，可实时观察减薄过程9）控制部分：210英寸触摸屏控制，菜单化操作，并支持减薄程序的设定和储存10）真空系统：真空系统由无油机械泵和分子泵系统组成，真空度W

6、5E-6Torr11）工作气体：氮气，操作压力225PSi#12）搭配液氮冷台控温系统：集成在主机上，杜瓦罐容量2400m1,并且具备一键加热功能；温度控制范围2T70C-室温，一次加注液氮续航能力26-8小时#13）样品前处理设备：包含可制备金属等韧性材料的圆片打孔机、可对样品进行研磨的手动研磨盘，以及凹坑仪、自动终止器2.3等离子清洗仪*1）具有O2,Ar双组分通道，每种气氛独立可控，流量及配比用户可自由设定2）无油真空系统：泵体部分由多级隔膜泵和超静音分子泵组成，在保证真空度的同时，可在两分钟之内达到抽真空和放气过程3）透射电镜样品杆清洗：可清洗大部分标准透射电镜样品杆#4）扫描电镜样品

7、清洗：可清洗扫描电镜样品载台及不规则样品，样品室直径26.5cm,样品室高度23.5cm5）清洗时间：普通污染样品2分钟，重度污染样品10分钟6）等离子体功率：可调节，最低功率2肌最高功率265W,可自由设定7）重现性：可以自动记录下同类产品清洗的条件，下次清洗同类产品时可同样条件进行8）包含10寸触摸屏式控制，且软件具有中文操作界面#9）含干泵系统，可同时存储四根样品杆，分别独立控制#10）适配器：配备FEI、JEo1适配器各一个2.4离子束刻蚀镀膜仪D离子枪：潘宁式离子枪，聚焦离子束设计，无耗件2）离子枪角度：最低0,最高218,每只离子枪可独立调节3）离子枪束能量：最低20.IkeV,最

8、高8.0keV,可在不同电压下自动优化离子束束流，且每支离子枪可独立调节4）抛光速率：平均2170umh,硅，8kV#5）冷台部分：液氮控温，集成在主机上，杜瓦罐容量2400m1,并且具备一键加热功能；温度控制范围2-130-室温，一次加注液氮续航能力26-8小时6）控制部分：210英寸触摸屏控制，菜单化操作，支持抛光程序设定和储存7）基本功能：具有截面切割和平面大面积抛光两种功能8）抛光功能：配有平面抛光夹具，可进行角度选择性区域抛光9）样品尺寸：3015（mm）#10）抛光范围：平面抛光：28TOnIn1；截面抛光：3-5mmID无油真空系统：无油机械泵+分子泵系统12）镀膜功能：离子抛光

9、结束后可直接在真空中进行镀膜处理，无需破真空再进行镀膜，一站式解决扫描电镜制样需求#13）耙材装置：同时安装两种靶材，在不破真空的情况下，可自由选择不同靶材进行镀膜，可配备常见所有种类金属靶材、碳靶材甚至氧化物靶材（二）质保及售后服务：1.1 设备安装调试的时间：供应商须确保在60天时间内，保质保量完成所提供全部设备的安装、调试及投入运行。1.2 技术培训：中标供应商须安排工程师对用户现场培训，培训地点为用户指定地点，内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等，培训时间不小于5天，以用户熟练操作为准，涉及其他费用由中标供应商承担。1.3质保期：设备验收合格后一年（自仪器验收合格，双方签

10、字之日起计算），并提供终身维修。1.4 售后服务、维修响应要求：厂商在中国国内设有办事处，直接提供7x24小时的技术支持服务，技术支持和售后服务。接到用户通知后24小时内响应，3个工作日内到达现场进行服务。一般问题应在一周内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内提出解决方案。1.5 要求卖方提供的其它技术服务内容（如软、硬件升级要求等）（）目的港：无论CIP或DAP或其他，请在此列出各到货港口的台件数，到货港口要写明是空港或是海港。包1：团上海机场上海港口口南京机场口南京港口口其他（四）交货日期：合同生效后5个月内（五）产品需执行的相关标准产品应满足相关国家标准及行业标准。除非技术规

11、格中另有规定，计量单位均采用中华人民共和国法定计量单位。（六）供应商特殊资质要求验收合格后，提供1次免费的原厂移机（市内）支持。（七）包装和运输要求必须使用崭新的坚固的木箱或纸箱包装货物，以便适于长距离的海运或空运、内陆运输和气候的变化，该包装应当能够保护货物耐粗暴搬运、防湿、防潮、防震、防锈、防冻。由于包装不良所发生的损失及由于采用不充分或不妥善的保护措施而造成的任何货损，卖方应负担由此产生的一切费用和损坏。包装中必须随货放置一套完整的操作说明和服务手册。（八）付款方式（特殊需求请在招标采购要求文件第二条第十款：其他特殊要求中单列）进口货物：90%即期信用证,装运后凭相关单据议付，10%电汇

12、（见验收合格报告）或100%即期信用证,90%见装运单据议付，余10%见验收合格报告。在中标之后的合同执行阶段，若由于汇率变动等原因导致最后合同执行价格超过此最高投标上限价时，按照最高投标上限价金额进行结算。国产货物：签订合同后，买方在卖方将全部货物发到项目现场并开箱核对无误并加电开机正常后，同时收到卖方提供的等额增值税专用发票后，支付合同总金额的90%给卖方。在整个采购货物包验收合格后并收到卖方提供的等额增值税专用发票后，买方支付合同总金额的10%给卖方。（九）验收标准、保险要求等（本条投标文件中应提供承诺，不用提供彩页证明资料）1 .验收标准。供应商须确保所提供的产品为全新的产品，仪器设备

13、运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收，如卖方届时不派人来，则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损等，买方有权要求卖方负责更换。验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。部分无法现场验收的指标中标人需提供出厂测试报告或者证明文件；2 .保险要求卖方对本合同下提供的货物应对其在制造、购置、运输、存放及交货过程中的丢失或损坏进行全面保险，还应对其在项目现场进行技术服务的人员进行必要的保险。第二包金相制样系统1工作条件11工作电压:220V

14、5V;1.2环境温度与湿度：15C35C,4080%湿度2技术参数2.1 手动切割机1）主机切割室采用耐腐蚀材料制成，切割台采用耐腐蚀性铸铝材料制成，配有不少于6个统一尺寸的不锈钢钢带顶面，钢带损坏或磨损后可互相更换。切割台尺寸：深2225mm,宽31Omm,不少于5个IOmm规格的T型槽，方便夹具摆放。2）使用3相电机，S3功率33.0千瓦,切割轮转速2280OrPm（50Hz）,最大切割直径90mm。3）循环冷却装置：2501不锈钢水箱容量，2601min的大流量泵，并配有用于清洁切割室的冲洗软管。#4）包含垂直夹具和快速夹具，以及切割轮一包，防腐润滑剂一桶。#5）设备运行稳定，空转状态下

15、，距离1On1处噪音W60dBA.6）安全功能：保护罩处于打开状态时，切割电机无法启动。如在切割过程中打开保护罩，安全功能将立刻断开切割电机电源。7）安全罩盖安装在背部，能够大幅度打开，便于操作，可以轻松定位和操控工件。2.2自动切割机1）支持智能控制进刀速度控制避免电机过载，即可根据切割时的载荷自动调整进给速度。2）支持切割轮高度调整，调整范围20-4Omm。#3）样品最大切割截面尺寸：2直径70mm或者160X50mm；切割长度：2200mm。4）转速2300-500OrPm,进给速度范围0.005-3mms,切割轮直径：75200mm。5）循环冷却装置：24.51水箱容量，2流速1.51min,带过滤装置。6）切割室采用耐腐蚀材料制成，切割台采用耐腐蚀性铸铝材料制成，配有不少于7个统一尺寸的不锈钢钢带顶面，钢带损坏或磨损后可互相更换。切割台尺寸：宽225