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1、国产集成电路生产设备JPECVD(单片式)HPVD(溅射)单机试运转及验收范例JPECVD(单片式):试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机试运转;1环境洁净度等级应为5级,环境温度应为22C0.5C,相对湿度应为45%5%;2三相交流电源:AC380V10,频率501HzAC208V10,频率501Hz;3设备机壳应有良好的接地,接地电阻W1Q;4系统控制柜、传送系统、工艺腔室系统、气路系统、射频系统、真空系统、水冷系统等均可正常运行;5二次配管系统的连接、标识、压力、阀门状态等检查正常;4驱动氮气压力:0.50.7MPa;6真空本底压力:8E-8Torr;7工艺冷却水压力应为0.
2、5MPa;8射频电源频率13.56MHz,负载匹配良好;9所有安全互锁功能正常开启;10正常上电开机后无故障报警。验收项目应符合下列要求:1整机系统上电后,系统界面显示各模块在线,系统及各模块运行正常;2传输模块和工艺模块工作正常,无异常报警;3EMO功能正常,且安全互锁工作正常;4系统传片测试,连续传片500片无报警,晶圆表面无划伤;5整机系统控制正常,安全防护功能正常。HPVD(溅射)试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机试运转:1环境洁净度等级应为5级,环境温度应为22C0.5C,相对湿度应为45%5%;2三相交流电源:AC380V10,频率501Hz0AC208V+10,频率
3、501Hz;3设备机壳应有良好的接地,接地电阻W1Q;4系统控制柜、硅片传送系统、工艺腔室系统、气路系统、抽真空系统、水冷系统、排气系统等均可正常运行;5二次配管系统的连接、标识、压力、阀门状态等检查正常;6压缩空气压力:0.50.7MPa;7真空本底压力:8E-8Torr;8工艺冷却水压力:0.220.25MPa;9氮气压力:静态压力应为2.32.35MPa,动态压力应为2.93.2MPa;10安装间内不得有腐蚀性气体、电磁辐射,振动频率大于等于IoHZ时,安装机器周围的振动幅度应小于3tIm,振动频率小于IOHZ时,安装机器周围的振动幅度应小于1.5m;11所有安全互锁功能正常开启;11正常上电开机后无故障报警。验收项目应符合下列要求:1整机系统组装调整无误,各电缆接线连接正确、可靠,系统上电后无故障;2上位机图形用户界面显示各模块在线,系统及各模块运行正常;3传输模块和工艺模块的真空度、漏率指标:真空度8E-8Torr,压升率:IOOOOnTorrZmin;4EMO功能正常,且安全互锁工作正常;5整机马拉松传片测试,连续传片500片无报警,晶圆表面无划伤,AWC数据至少3mm。