微电子生产设备安装技术参数表.docx

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微电子生产设备安装技术参数表设备安装技术参数应符合A.0.1的要求。设备名称型号用途包装箱尺寸毛重（kg）毛重（kg）毛重（kg）主体尺寸主要部件尺寸维修空间前（mm）后（mm）左（mm）右（mm）地基要求水平度微振电源电源性质电压（V）相数功率（kW）接地电阻（Q）纯水电阻率MQ.cm(25)温度（C）压力(MPa)流量(1Zmin)冷却水电阻率MQ.cm(25C)温度（）压力(MPa)流量(Umin)大宗气体纯度（）压力(MPa)流量(1min)管道接口型式特种气体化学品环境要求温度CC）湿度（）洁净度排风材质接口(mm)抽速（ms）排气气质接口(mm)抽速（ms）通讯接口其它特殊要求