无尘室的构成与检测.docx

《无尘室的构成与检测.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《无尘室的构成与检测.docx（6页珍藏版）》请在第一文库网上搜索。

1、无尘室的构成与检测目录1 .无尘室的必要性12 .无尘室洁净度标准13 .无尘室的构成23.1.无尘室的构造方式23.2.隔间23.3.风机过滤器系统23.3.1.风淋室过滤单元23.3.2.净化中央空调机组33.3.3.风机过滤单元系统43.4.水系统43.4.1.板式换热器原理43.5.其他系统44 .无尘车间洁净室的检测、验收的流程和标准55 .进入无尘室前的注意事项61 .无尘室的必要性为了避免生产过程中出现污染和腐蚀，空气当中的细小微粒和微生物数量必须减到最小，于是，无尘室技术现在成为了许多工业的基本要求。无尘室设备用于微电子工业、半导体、精密机械、制药业、塑料制品和食品加工业等各个

2、领域。2 .无尘室洁净度标准世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政府颁布的标准Federa1Standard(FS)209E,1992,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、IOOO级、IoOOO级、IOOooO级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为05m,例如，1级、10级、IOO级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、IOo颗，如果尘粒尺寸不是0.5m,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2m(尘粒尺寸在0.2m或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1m(尘粒尺寸在0.1m或更大下，密度不大于35颗/立方英

3、尺)。无尘室的洁净度用洁净等级来表示，分别为IO级、IOO级、IOOO级、10,OoO级、100,OOO级。数值越小则净化度越高，例如：IOO级高于IOOO级、IOOO级高于IOOOO级等。在不同级的无尘室中，1立方英尺体积中所含的粉尘数不同(指粒度0.3Hm的粉尘)。以万级无尘室为例，其空气的洁净度比IOO级无尘室低IOO倍。洁净级别高的无尘室内空气压力也高。一旦打开不同级别间无尘室的门，空气会从洁净度高的室流向洁净度低的室，这样高洁净度的室不会被污染。尽管如此，还是应避免经常打开不同级别无尘室间的门。3 .无尘室的构成3.1. 无尘室的构造方式气流方法A)垂直气流型(C1aSS1-100)

4、B)水平气流型(C1aSS1OO)C)乱流型(CIaSS1,000-100,000)D)混流型(CIaSS1,000-100,000)3.2.隔间万级无尘室隔间分为三大部分，更衣室，千级区和百级区，更衣室与千级区，干级区和百级区均设风淋室(airshower),无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(PaSSbOX)当人员进入无尘室时，首先要经过风淋室，对人体所带的灰尘吹淋，减少人员带入无尘室的灰尘,传递箱则是对物品灰尘进行吹淋，达到落尘的效果.3.3.风机过滤器系统3.3.1.风淋室过滤单元风淋室是针对进入洁净室前，用洁净空气以喷淋形式强行将作业服表面附着的尘埃及由作业服破损引起的尘埃等除去，防

5、止尘埃粒子侵入洁净室的装置。空气经过初效过滤器，由外转子风机压入静压箱，再经过高效过滤器过滤后从出风面吹出高速洁净气流，洁净气流以高速均匀的风速由可旋转喷射到人身上有效而迅速的清除人从非洁净区所带来的尘埃粒子及细菌。要实现这几大功能，和风淋室身上的几大结构有很大的关系，本文主要目的是让我们通过了解风淋室的主要结构从而能更好地对风淋室进行维护保养，以保证风淋室的使用效果。3.3.2.净化中央空调机组带有高效空气过滤器的空调机组。a净化空调机组内表面及内置零部件应选用耐消毒药品腐蚀的材料或面层，材质表面应光洁。b内部结构应便于清洗并能顺利排除清洗废水，不易积尘和滋生细菌。c表面冷却器的冷凝水排出口

6、，应设能自动防倒吸并在负压时能顺利排出冷凝水的装置。在除湿工况时应在系统运行3MIN内排出水来。凝结水管不能直接与下水道相接。d各级空气过滤器前后应设置压差计，测量接管应通畅，安装严密。e不应采用淋水式空气处理器。当采用表面冷却器时，通过盘管所在截面的气流速度不应大于2M/S。6空调机组中的加湿器宜采用干蒸汽加湿器，在加湿过程中不应出现水滴。加湿水质应达到生活饮用水卫生标准。加湿器材料应抗腐蚀，便于清洁和检查。f加湿设备与其后的空调设备段之间要有足够的距离。II级洁净用房净化空调系统的高效过滤器之前系统内的空气相对湿度不宜大于75%og空调机组箱体的密封应可靠。当机组内保持IOOoPA的静压值

7、时，洁净度等于或高于IOOO级的系统，箱体的漏风率不应大于1%；洁净度低于IOOO级的系统，箱体的漏风率不应大于2%。无尘室(CIeanROom),亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-209E里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。FF

8、U为低噪音、高效率的最佳除尘系统，能够方便的为无尘室提供高质量的过滤空气。3. 3.3.风机过滤单元系统安装在无尘室天花板龙骨架上的直流FFU系统风系统流程系统采用的是全新风空调箱+FFU系统.全新风空调箱结构FFU：(FANFI1TERUNIT)即风机和过滤器千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用U1PA,过滤效率99.9995%3.4. 水系统水系统流程冰水系统分为一次侧和二次侧.一次侧冰水水温712度，供给空调箱和风机盘管，二次侧冰水1217度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路，之间由板式换热器连接.3. 4.1.板式换热器原理干盘管：不结露

9、的盘管，因无尘室温度在22度，其露点温度12度左右，故7度冰水不能直接进入无尘室，所以进干盘管的冰水温度在12-14度.控制系统(DDC)温度：干盘管系统控制湿度：空调箱调节通过感测的信号，控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量正压：空调箱调节，根据静压感测的信号，自动调节空调箱马达变频器的频率，从而调节进入室内的新风量.4. 5.其他系统不只是空调系统，无尘室系统中还包括有真空，空压，氮气，纯水，废水，二氧化碳系统，制程排气系统，检测标准：1 .气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。2 ,系统或房间

10、的风量检测。3,室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。5 .气流流型检测。6 .噪声的检测。7 .照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。8 .振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。9,温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。10

11、.总风量和新风量的检测。4 .无尘车间洁净室的检测、睑收的流程和标准无尘车间洁净室工程竣工验收实际上就是对无尘室系统的综合性能全面体检评定，准确地讲就是对无尘室整个系统内相关参数进行检测，确定工程是否合格。确保工厂正式投产后正常运行，提高投产产品的品质保证。无尘车间的检测过程须不同分状态分别进行，因为不同状态产生不同的检测数据。设施建成，所有动力接通运行，但无生产设备、材料和人员的空运转状态；设施已建成，生产设备完成安装，无生产人员，业主和供应商共同决定的静止状态运行；按正常投产，全员到岗的动态下运行。因为无尘车间洁净室内的工艺设备必须提前就位，在实际竣工检测中，静态居多，空态罕见。但根据洁净

12、室施工及验收规范规定洁净室检测时占用状态区分如下：工程调整测试应为空态，洁净工程验收的检验和日常例行检验应为空态或静态，洁净工程的使用验收检验和监测应为动态。注意在洁净度检测前，一定要对工艺设备进行认真擦拭，以免影响测试数据的真实性。无尘车间洁净室综合性能全面评定的状态应由建设单位、设计单位、施工单位共同协商确定。通过三方协商探讨既能保证公平性也能满足保证投产产品的质量要求。如果协定为动态检测，则必须保证无尘车间内的工艺设备、原材料、工具、工作人员的操作程序、工作服等均须符合洁净室内的要求和标准。这些因素是无尘车间洁净室施工单位不可掌控的。很多竣工验收合格的洁净室，由于工艺设备和人员服装等因素

13、不符合无尘车间洁净室要求而出现检测效果很差的现象，这也是人们平时所说的动静比太大。在洁净室验收时应对各部分工程做外观检查、单机运行、系统联合运行、协商确定状态下的洁净室性能调整和检测。具体内容有：图纸会审记录、技术核定单核竣工图；主要材料构件设备报审表及相应的合格文件证明材料；空调制冷系统安装工程质量验收表；管道工程工艺记录表；设备单机运行记录；系统各状态运转与调试记录；竣工报告等。由建设单位组织无尘车间洁净室综合性能验收，由施工单位配合，邀请有资质的第三方检测单位进行综合性能全面评定检测。综合性能全面评定工作应在洁净室竣工验收合格后，洁净室各系统完成调试，稳定运行24小时以上才能进行。检测前必须再次做好全面清洁洁净室内工作。5 .进入无尘室前的注意事项任何人进入无尘室须按规定换穿净化服。未经许可不得将私人物品以及非无尘室使用工具带入，维修用的手册及工具在用完后应立即收起。原物料进无尘室时，需先在外面拆箱及擦洗干净，并置于缓冲区30分钟方可进入无尘室。若吸烟者，须于抽后30分钟并嗽口后方可进入无尘室。剧烈运动后绝对禁止立刻进入无尘室，须待呼吸平稳不再流汗方可进入无尘室。在无尘室内不得饮食、嬉闹，或从事与工作无关的事情。进入无尘室者应保持身体干净，头发应常梳洗，并禁止使用香水及化妆品。进无尘室不得穿短裤、短裙及拖鞋，并应穿袜子。