高通量大面积磁控溅射沉积系统采购项目基本情况表.docx

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1、高通量大面积磁控溅射沉积系统采购项目基本情况表一、采购内容及技术参数指标要求（一）具体技术指标要求我室拟采购高通量大面积磁控溅射沉积系统一套，由样品缓冲室、真空溅射室、真空系统、磁控靶系统、电源系统、高通量溅射系统、气路系统、加热系统、自动控制系统、安全保护系统等组成。各部分具体技术指标要求如下：1 .样品缓冲室室为真空泵机组抽气的低真空环境。设置8组样品盘，设备支持8片装的连续生产模式。2 .真空溅射室真空溅射室有四个磁控靶接口，安装四只磁控靶。其中三只直流溅射靶、一只射频溅射靶。溅射室上盖分为四个区,独立自动打开，便于安装、维修、清洗、更换靶材等。至少一只靶与高通量组件可以互换使用，拆下该

2、靶，更换上高通量法兰组件即可进行高通量研究。3 .真空系统真空系统采用大口径复合分子泵、旋片式真空泵将真空室抽至高真空状态。溅射室极限真空度W6.7X10-5pa溅射室工作状态通过薄膜规进行测量，并参与恒压控采用电动插板阀作为压力调节阀，通过高精度薄膜规测量，闭环压力调节控制软件控制，使工气压达到恒定状态，保证工艺稳定性及重复性。4 .磁控靶系统典型样品尺寸380mmX300mmo靶座带有防相邻靶污染的挡板，靶与样品间带有防污筒，以达到防绕射、防相邻靶污染的效果。磁控靶带有内置均匀布气系统。有效镀膜区（380mm300mm）不均匀性W5%。可用于非磁性常规材料和磁性常规材溅射。5 .电源系统设

3、备配置直流电源，可用于金属直流溅射，也可用于直流反应溅射。支持双靶溅射，提高厚膜的溅射速率。配置射频电源，可用于射频溅射介质、非金属、金属化合物、半导体等薄膜。电源功率调节与输出可参与自动化控制。6 .高通量溅射系统系统配两只共聚焦磁控靶，通过对单孔掩膜板的两维精密运动，一次获得不少于25个实验结果（8片装结构可获得不少于200个实验结果）。支持两元材料多层膜高通量研究，两元材料混合掺杂膜的高通量研究。7 .气路系统采用6台质量流量控制器控制6路气体进气（溅射工艺Ar四路；清洗Ar一路；工艺Nz或。2一路）。8 .加热系统溅射室旁有定点加热工位，通过链条运送过来的工件被静止加热。样品盘上方安排

4、灯光加热器，灯管分别独立控温，保证加热均匀性（样品正面加热）。在溅射区域下方，带有四组加热器，独立控温，对溅射过程中的样品进行在线加热。可以进行阶梯升温控制等其他的加热策略。静态加热温度：室温一50（rc。9 .自动控制系统配置液晶显示屏，由鼠标键盘操作，WindoWS风格会话界面。操作者可选择自动及非全自动模式。系统开放工艺编程端口，用户可根据实际使用需求设置不同的工艺参数，即可实现真空系统及工艺过程全自动化操作。系统配有设备运行参数记录功能，可对设备的每一步操作进行数据采集，实时监控设备运行状态。10 .安全保护系统设备设有互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使非恶意的

5、人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。系统支持诸如缺水故障、分子泵故障、通讯故障等故障情况下的自动报警。（二）样品要求无。（三）实施人员要求无。（四）生产及安装调试等要求设备到达买方指定地点后，中标方安排相关技术人员，负责设备安装和调试工作，中标方需要负责设备安装位置与厂方配电箱的电缆、设备与冷却塔之间的循环水管道等材料和连接工作。设备安装调试完成后，形成调试记录，达到招标文件规定及投标文件响应要求后，按买方设备验收资料要求，形成验收报告。（五）供货、安装周期及交货地点要求1 .合同生效后，中标方在8个月内完成供货，交货地点为买方指定的地点。2 .中标方提供设备的各项技术性能指标必须达到合同

6、和技术文件规定的要求，每件包装中应附有详细装箱单以及外购设备的质量证书各1套。3 .设备交货后，中标方应于10日内开始进行设备安装,并于20日以内在指定地点安装调试完毕。4 .设备安装、调试和验收的相关事宜和产生的费用由中标方负责。5 .交货地点：买方指定的地点。（六）售后质保培训等要求1设备制造商有完善的售后服务系统：厂家在接到用户维修请求后，能在12小时内作出维修响应，必要时3个工作日内到达用户现场提供技术支持。2 .保修期为自验收合格之日起12个月，保修期内免费维修，非人为原因损坏的情况下，中标方免费提供配件。保修期外终身提供技术支持以及后期维护服务。3 .免费提供全面技术培训，提供全套

7、用户操作手册及安装维护手册和各种相应说明书。中标方负责对买方人员进行设备操作、维修方面的现场培训工作，形成培训记录。4 .投标人须随投标文件递交所投设备的售后服务承诺书。（七）保密要求本项目采购不涉密。（A）报价要求本设备为国产设备，以人民币报价（含税），报价包含供应、运输、安装调试、技术培训、售后服务、备品备件和伴随服务等价格，价格不因实施期间市场变化及政策调整因素而变化。（九）其他项目个性化要求无。（十）投标（报价）人资质要求1.1符合中华人民共和国政府采购法第二十二条资格条件：具有独立承担民事责任的能力；具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；参加政府采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录；法律、行政法规规定的其他条件。12截止到开标时间，供应商成立时间不少于3年，且为非外资独资或外资控股企业,或为事业单位、军队单位。1.3 单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。生产型企业生产场地为同一地址的，销售型企业之间股东有关联的，一律视为有直接控股、管理关系。供应商之间有上述关系的,应主动声明，否则将给予列入不良记录名单、3年内不得参加军队采购活动的处罚。1.4 本项目不接受联合体投标。