有色金属_行业标准镍铬合金蒸发料讨论稿编制说明.docx

《有色金属_行业标准镍铬合金蒸发料讨论稿编制说明.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《有色金属_行业标准镍铬合金蒸发料讨论稿编制说明.docx（8页珍藏版）》请在第一文库网上搜索。

1、银辂合金蒸发料一编制说明（讨论稿）一、工作简况1. 1任务来源本标准项目中：计划批准文件名称、文号及项目编号、项目名称、计划完成年限、项目名称更改（原则上不允许更改）说明、编制组成员（单位）等相关情况，项目编制组单位变化情况。根据全国有色金属标准化技术委员会“关于召开国家标准铅锭修订解读会议暨再生铅及铅”（有色标委202347号）及相关会议纪要的文件精神，银格合金蒸发料由有研亿金新材料有限公司起草。项目计划编号（2023-0105T-YS）,完成年限2024年。行业标准银信合金蒸发料主要起草单位由：有研亿金新材料有限公司、北京翠钳林有色金属技术开发中心。1.2. 项目的和意义近年来，锲铝合金蒸

2、发料作为一种重要的半导体电子器件制造用材料等方面得到广泛的应用。随着我国集成电路产业的快速发展,此种蒸发镀膜材料的消耗量逐年增加，市场广阔。目前我国已有多家企业可提供该类产品，但由于未对锲铭合金蒸发料制定相应的标准，也未检索到相应的国际标准或国外先进标准，市场上的银铭蒸发料质量、规格多样，验收规则也千差万别，因此需要建立我国钳蒸发料的行业标准，可促进现有产品质量的提高，确保产品生产、检验和验收的规范及统一。目前美国材料协会标准、日本电子协会标准、欧盟标准中均没有银铭蒸发料的相关标准，因此银铝蒸发料产品国家标准的制定对该产品技术水平的不断提高将起到一定的推动作用。1.3. 要参加单位和工作成员所

3、作的工作标准主编单位有研亿金新材料有限公司（简称有研亿金），隶属于北京有色金属研究总院。有研亿金拥有30多年专业从事稀有和贵金属材料研究、开发和生产经验，获得并积累了一大批国家和部级科研成果，培养造就了大批科研、生产人才。有研亿金在半导体封装材料领域具有国内领先的优势，多年来从事贵金属焊料、电接触材料研发、生产，具备一大批对金属材料制备加工技术具有较坚实理论基础和丰富实践经验的专家和技术人员，具备材料加工、检验全流程生产能力。有研亿金历年承担国家军工配套项目和军工新产品试制项目近百项，获部级奖56项，国家专利38项，国家科技进步奖3项，国家发明奖9项，全国科学大会奖2项，国家科技进步奖特等奖子

4、项奖1项。有研亿金新材料有限公司在编制过程中积极主动收集国内外相关资料，对银铝合金蒸发料的使用情况、客户要求、制备技术等方面做了详细的评估。根据各单位实际使用情况和要求进行标准的编写。本标准主要起草人及工作职责见表U表1主要起草人及工作职责起草人工作职责侯智超、高岩、宋瑶、王鹏、罗瑶负责标准的工作指导、标准的编写、客户调研、修改及组织协调何金江、吕保国、李海滨、朱洪磊负责对标准的调研及标准方法文本规范化编写提出修改意见1.4. 要工作过程【指的是从项目开始预研，直至完成标准报批稿期间的所有工作，应体现出编制工作组的工作量和征求意见的充分程度。以下条款固定，不应随意更改】【不同阶段未到的可以先空

5、着，条款保留。】1.5. 1预研阶段2023年2月，有研亿金新材料有限公司接到标准制定任务后，针对锲铝合金蒸发料查阅和检索了国内外有关技术标准和资料，国内没有相关产品的标准，国内外包括美国材料协会标准、日本电子协会标准、欧盟标准中均没有银格合金蒸发料的相关标准。有研亿金牵头成立了标准编制小组，并落实起草任务，确定标准的主要起草人，拟定该标准的工作计划。具体分工为：有研亿金新材料有限公司总负责、市场和同行业信息收集、资料汇总及执笔；翠伯林有色金属技术有限公司负责补充市场信息和标准数据的验证。各企业分工明确，紧密合作，共同完成标准的制订工作。1.6. 2标准立项2023年5月，有研亿金新材料有限公

6、司向全体委员会议提交了银珞合金蒸发料标准项目建议书、标准草案及标准立项说明等材料，全体委员会议论证结论为统一行业标准立项。由秘书处组织委员网上投票，投票通过后转报国标委，并挂网向社会公开征求意见。2023年3月，国家标准化管理委员会下达了制定银络合金蒸发料企业标准的任务，计划号为2023-O1o5T-YS,项目周期为24个月，完成年限为2024年4月。技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会。1.7. 3起草阶段召开工作会议（草案讨论会、预审会均成为工作会议，按第一次工作会议、第二次工作会议的方式描述，对应标准稿统称为征求意见1稿、征求意见2稿）的时间、地点和会议情况。【最终形成了征求意见稿

7、】2023年6月-2023年7月，查阅和检索了国内外有关技术标准和资料,包括GB/T26016-2010高纯银、GBT28908-2012高纯金属珞、有研亿金等企业标准等；银铝合金蒸发料使用客户中电十三所、无锡好达电子等技术要求。汇总各家的标准及意见，作为建立本技术标准的技术依据。2023年8月-2023年10月，对银格合金蒸发料的国内外生产和使用状况进行了相关资料的收集和调研，对技术资料进行了对比分析。2023年11月-2023年12月通过锲络合金蒸发料试验方法等技术资料的总结分析，经过多次研究论证，形成了银络合金蒸发料的行业标准讨论稿及编制说明。1.8. 4征求意见阶段征求意见稿发送（包括

8、工作会议发送和函送、电话、微信等）的单位（需阐述发放单位总数，并说明发放非委员单位总数及其中的用户、科研、其他单位所占比例）、送审稿完成日期【不应早于征求意见汇总处理表填表日期，迟于审定会日期】【征求意见的通用写法】编制组根据意见，对标准进行修改和完善，形成了标准送审稿及编制说明。1.9. 5审查阶段1.10. 6报批阶段二、编制原则本标准起草单位自接受起草任务后，本标准编制组收集了国内外客户要求、国内厂家实际生产水平等信息，初步确定了银格合金蒸发料标准研究的预期目标为规范该类产品成分、尺寸规格、包装等基本要求，统一市场上流通产品的质量。起草所遵循的基本原则和编制依据：1）查阅相关标准和国内外

9、客户的相关技术要求；2）根据国内外银倍合金蒸发料用户、制造商及原料供应商具体情况，力求做到标准的合理性与实用性；3）广泛适用，操作可行的原则；4）有利于创新发展与国际接轨的原则。本标准完全按按照GB/T1.1-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则及有色金属加工产品国家标准、行业标准编写示例规定的格式进行编制，以范围一一规范性引用文件术语和定义一一要求一一试验方法一一检验规则一一标志、包装、运输、贮存一一订货单（或合同）内容的顺序进行编制，内容完整全面。三、标准主要技术内容的确定依据及主要试验和验证情况分析3.1 范围本标准规定了银铭合金蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方

10、法、检验规则及标志、包装、运输存贮、订货单内容。本文件适用于半导体行业用的银铝合金蒸发料。3.2 规范性引用文件本标准针对客户对半导体行业用的银铭合金蒸发料要求编写。要求包括：产品分类、牌号、化学成分、几何尺寸、外观质量等方面。引用了推荐性国家标准1项：GB/T28908-2012高纯金属铭；推荐性行业标准2项：GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限（AQ1）检索的逐批检验抽样计划、GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4分类和标记产品分类是对半导体行业用银格合金蒸发料的牌号、规格、状态应符合的规定。同时规定了产品标记

11、办法。相关情况说明如下：银铭合金蒸发料具体尺寸要求主要由应用场景决定。银络合金蒸发料按化学成分分为TC-NiCr10-99.95、IC-NiCr1o-99.99、IC-NiCr20-99.95、TC-NiCr20-99.99四个牌号,银络合金蒸发料牌号、形状及状态见表2。表2规格要求单位为毫米牌号状态形状规格1直径厚度宽度长度IC-NiCr1O-99.95加工态片状一0.15520520柱状28一一310IC-NiCr1O-99.99加工态片状0.15520520柱状28310IC-NiCr20-99.95加工态片状0.15520520柱状28一3-10IC-NiCr20-99.99加工态片状

12、0.15520520柱状28一310银珞合金蒸发料产品标记按产品名称、文件编号、牌号、状态、规格、状态的顺序表示。标记示例如下：甘品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。示例1：用IGNiCr1O_99.95牌号制造的、厚为1mm、宽为5mm、长为5mm的片状产品，标记为：片标准号一IC-NieCo-99.95,1X5X5示例2：用IC-NiGiO-99.99牌号制造的、直径为3mm、长为3mm的柱状产品，标记为：柱标准号一IC-Nier1O-99.99,335技术要求5.1化学成分在半导体行业用银铭合金蒸发料标准制定过程中，调研了国内外银铝合金蒸发料客户、制造商基本要求，参照现有银

13、、珞原料标准，对一些存在危害的杂质元素含量给出了明确控制要求，这些杂质元素主要包括金属杂质元素A1、Fe、Mg、Mn、Si、Ti.V、Zr等。为保证数据对制定标准的代表性和可靠性，统计各纯度银珞合金蒸发料最近50组元素数据，统计结果如下表3-4所示。根据统计结果，按照标准设定值评估，数据覆盖率达到100%,符合产品标准制定的要求，最终制定结果如表5所示。表399.95%纯度-50组数据统计元素20ppm20-50ppm(含50ppm)50-80ppm(含80PPm)IOOppm数据覆盖率A142(84%)8(16%)0(0%)0(0%)100%Fe48(94%)2(4%)0(0%)0(0%)1

14、00%Mg50(84%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Mn50(56%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Si50(80%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Ti50(4%)0(0%)0(0%)0(0%)100%V50(10%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Zr50(88%)0(0%)0(0%)0(0%)100%表499.99、纯度-50组数据统计元素20ppm20-50ppm(含50ppm)50-80ppm(含80ppm)80ppm数据覆盖率A150(80%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Fe49(98%)1(2%)0(0%)0(0%)100%Mg50(84%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Mn50(56%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Si50(80%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Ti50(4%)0(0%)0(0%)0(0%)100%V50(10%)0(0%)0(0%)0(0%)100%Zr50(88%)0(0%)0(0%)0(0%)100%表5镶铭蒸发料化学成分牌号主要成分/%（质量分数）杂质含量/10-4（质量分数），不大于NiCrA1FeMgMnSiTiVZr杂质总量a