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1、ICS77.150.99CCSH68中华人民共和国有色金属行业标准YS/T银铭合金蒸发料Nicke1-Chromiuma11yevaporatingmateria1(标准草案)2023.03.01(在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上)-X发布X-X-X实施中华人民共和国工业和信息化部发布-1.Z1刖百本标准按照GB/T1.1-2023标准化工作导则第一部分:标准化文件的结构和起草规则的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位:本标准主要起草人
2、:镇铝合金蒸发料1范围本文件规定了银格蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体行业用的银格合金蒸发料。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。YS/T1012-2014高纯银化学分析方法GB/T8888重有色金属加工产品的包装、标志、运输、贮存和质量证明书GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQ1)检索的逐批检验抽样计划GB/T8170数值
3、修约规则与极限数值的表示和判定3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4分类和标记4.1产品分类产品的牌号、状态、形状、规格应符合表1的规定。表1牌号、状态、形状、规格牌号状态形状规格nun直径厚度宽度长度IC-NiCr1O-99.95加工态片状0.1-5520520柱状28310IC-NiCr1O-99.99加工态片状0.1-5520520柱状28一370IC-NiCr20-99.95加工态片状一0.15520520柱状28310IC-NiCr20-99.99加工态片状0.15520520柱状28一3104.2产品标记产品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。示例1:用IC-N
4、ier10-9995牌号制造的、厚为Imm、宽为5mm、长为5mm的片状产品,标记为:片标准号-IC-NiCr1O-99.95,1X5X5示例2:IC-NiCr1O-99.99牌号制造的、直径为3mm、长为3mm的柱状产品,标记为:柱标准号一IC-Nier1O-99.99,335技术要求5.1化学成分表2银辂蒸发料化学成分牌号主要成分/%(质量分数)杂质含量/10-4(质量分数),不大于NiCrA1FeMgMnSiTiVZr杂质总量aIC-NiCr1O-99.95余量9.5-10.510010050501003020030500IC-NiCr1O-99.99余量9.510.5805030501
5、00503030100牌号主要成分/%(质量分数)杂质含量/10-4(质量分?命),不大于NiCrA1FeMgMnSiTiVZr杂质总量aIC-NiCr20-99.95余量19.5-20.510010050501003020030500IC-NiCr20-99.99余量19.5-20.580503050100503030100注:需方对某种特定杂质元素含量有要求的,由供需双方协商执行。a杂质总和为表中所列杂质实测值之和。b箱蒸发料的粕含量为100%减去表中所列杂质实测值之和的余量。5.2外形尺寸及其允许偏差5.2.1厚度及其允许偏差银锦蒸发料片状产品的厚度及其允许偏差应符合表3的规定。表3厚度
6、及其允许偏差单位为受米厚度厚度允许偏差“0.1-10.051-20.12-50.25.2.2宽度及其允许偏差银铭蒸发料片状产品的宽度及其允许偏差应符合表4的规定。表4宽度及其允许偏差单位为亳米宽度宽度允许偏差5-200.55.2.3长度及其允许偏差银铭蒸发料片状产品及柱状产品的长度及其允许偏差应符合表5的规定。表5长度及其允许偏差单位为受米长度长度允许偏差“5-20+0.55.2.4直径及其允许偏差银铭蒸发料柱状产品的直径及其允许偏差应符合表6的规定。表6直径及其允许偏差单位为毫米直径长度允许偏差2-80.25. 5.3外观质量6. 3.1产品表面应光亮平整、洁净.边角完整、无飞边、毛刺、夹杂
7、和裂纹等缺陷。7. 3.2产品表面应清洁、无油污和锈蚀。应无颗粒附加物和其他沾污。8. 3.3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。9. 试验方法9.1 化学成分产品化学成分的分析方法按YS/T1012-2014高纯银化学分析方法的规定进行。6. 2外形尺寸及其允许偏差外形尺寸应用相应精度的测量工具进行测量,直径测量应在两端Imn1处分别测量3次,厚度测量应在边缘InIm处测量3次。7. 3外观质量外观质量用目视检查,如发现异常现象,用10倍放大镜鉴别。7.检验规则7.1 检查和验收7.1.1 产品由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。7.1.2 需方可对收到的产
8、品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时,应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。属于表面质量或外形尺寸的异议,应在收到产品之日起30日内提出;属于化学成分的异议,应在收到产品之日起30日内提出。如需仲裁,应由供需双方在需方共同取样或协商确定。7. 2组批产品应成批提交验收,每批应由同一炉次、牌号、状态、形状和规格的产品组成。8. 3检验项目产品检验项目应符合表7的规定。表7检验项目检验项目出厂检验项目化学成分外形尺寸及其允许偏差外观质量注:表中表示必验项目”;“X”表示“非必验项目”。7.4取样和制样产品的取样应符合表7规定,取样方法按GB/T2828.1规定进行
9、。表7取样检验项目取样规定技术要求的章节号试验方法的章节号化学成分每批随机取2粒5.16.1外形尺寸及其允许偏差按GB/T2828.1取ST,AQ1=12抽取样品5.26.2外观质量按GB/T2828.1取ST,AQ1=12抽取样品5.36.37.5检验结果的判定7. 5.1检验结果的数值按照GB/T8170的规定进行修约,并采用修约值比较法判定。8. 5.2化学成分不合格时,则判该批产品不合格。7.5.3外形尺寸及其允许偏差不合格时,按件判不合格。每批中不合格件数超出接收质量限时判整批不合格。8标志、包装、运输、贮存及随行文件8. 1标志8.1.1 产品标志应在检验合格的产品上挂标签如下标记
10、a)牌号;b)状态;c)规格;d)产品批号。8. 1.2包装标志产品的包装应在。8. 2包装、运输、贮存a)产品内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种,塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整,无开裂、无贯通。真空袋封口要平整无贯通,真空袋体无漏洞,无真空泄漏。b)产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。c)产品运输过程中应防止碰伤、擦伤,并保证运输过程中产品及包装完整。9. 3随行文件每批产品应附有随行文件,其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期除外,还宜包括:a)产品质量保证书,内容如下: 产品特点(包括制造工艺及原材料的特点); 对产品质量所负的责任; 产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。b)产品合格证,内容如下: 检验项目及其结果或检验结论; 批量或批号; 检验日期 检验员签名或盖章。c)产品使用说明:正确搬运、使用、贮存方法等;d)其他。9订货单内容需方可根据自身的需要,在订购本文件所列产品的订货单内,列出如下内容:a)产品名称;b)牌号;c)状态;d)规格;e)净重(或件数);f)本文件标号;g)其他。