光电检测总结.docx

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1、第一章概论1 .检测技术的概念与分类。定义：确定被测对象的属性和量值为目的的全部操作检测技术分类按工作原理：机械式阻抗式电量式光电式辐射式按工作方式：接触式，非接触式按工作物质：电量式，非电量式2 .光电检测技术特点，光电检测系统组成。特点：光电检测技术以激光、红外、光纤等现代光电器件为基础，通过对载有被检测物体信号的光辐射（发射、反射、散射、衍射、折射、透射等）进行检测，即通过光电检测器件接收光辐射并转换为电信号。由输入电路、放大滤波等检测电路提取有用的信息，再经过A/D变换接口输入微型计算机运算、处理，最后显示或打印输出所需检测物体的几何量或物理量。：电路处理光学变换光谱光视效率函数器件的

2、基本特性参数响应特性噪声特性量子效率线性度工作温度一、响应特性1 .响应度(或称灵敏度)：是光电探测器输出信号与输入光功率之间关系的度量。描述的是光电探测器件的光电转换效率。S=-B-响应度是随入射光波长变化而变化的i响应度分电压响应率和电流响应率I3,电压响应率：光电探测器件输出电压与入射光功率之比I=TJi电流响应率：光电探测器件输出电流与入射光功率之比2 .光谱响应度：探测器在波长为人的单色光照射下，输出电压或电流与入射的单色光功率之比3 .积分响应度：检测器对各种波长光连续辐射量的反应程度.4 .响应时间：响应时间T是描述光电探测器对入射光响应快慢的一个参数.上升时间：入射光照射到光电

3、探测器后，光电探测器输出上升到稳定值所需要的时间。下降时间：入射光遮断后，光电探测器输出下降到稳定值所需要的时间。5 .频率响应：光电探测器的响应随入射光的调制频率而变化的特性称为频率响应二.噪里特性1在I无波隔疣照光i电(探t)*输出的电信号并不是T平直的，而是在平均值一上下随机地起伏，它实取上就是物理量围绕其平均值的涨落现象4()-it2=;1i(t)2dt用均方噪声来表示噪声值大小噪声的分类及性质外部干扰噪声:人为干扰噪声的和自然干扰噪声。人为干扰：电子设备的干扰噪声。如焦距测量仪在日光灯下，人的走动对干涉仪的光程影响。自然干扰：雷电、太阳等。如光电导盲器在太阳下内部噪声:人为噪声和固有

4、噪声两类。人为噪声：如工频交流电(50HZ)、测试仪器的散热风扇引起的光路变化。固有噪声：散粒噪声、热噪声、产生复合噪声、1/f噪声、温度噪声光电探测器常见的噪声热噪声：载流子无规则的热运动造成的噪声。热噪声存在于任何电阻中，热噪声与温度成正比，与频率无关，热噪声又称为白噪声。散粒噪声：入射到光探测器表面的光子是随机的，光电子从光电阴极表面逸出是随机的，PN结中通过结区的载流子数也是随机的。散粒噪声也是白噪声，与频率无关。散粒噪声是光电探测器的固有特性，对大多数光电探测器的研究表明：散粒噪声具有支配地位。产生-复合噪声：半导体受光照，载流子不断产生-复合。在平衡状态时，在载流子产生和复合的平均

5、数是一定的。但在某一瞬间载流子的产生数和复合数是有起伏的。载流子浓度的起伏引起半导体电导率的起伏。俏噪声：或称闪烁噪声或低频噪声。噪声的功率近似与频率成反比。多数器件的俏噪声在200300Hz以上已衰减到可忽略不计。典型代表：电流幅值漂移温度噪声：由热探测器和背景之间的能量交换所造成的探测器自身的温度起伏，称为温度噪声。第三章光电器件电荷耦合器件(CCD)原理和工作过程CCD是一种电荷耦合器件(ChargeCoup1edDevice)CCD的突出特点：是以电荷作为信号，而不同于其它大多数器件是以电流或者电压为信号。CCD的基本功能是电荷的存储和电荷的转移。CCD工作过程的主要问题是信号电荷的产

6、生、存储、传输和检测。在栅极加正偏压之前，P型半导体中的空穴（多子）的分布是均匀的。加正偏压后，空穴被排斥而产生耗尽区，偏压增加，耗尽区向内延伸。当UGUth时，半导体与绝缘体界面上的电势变得非常高，以致于将半导体内的电子（少子）吸引到表面，形成一层极薄但电荷浓度很高的反型层。反型层电荷的存在表明了MOS结构存储电荷的功能。电荷的转移（耦合）第一个电极保持10V,第二个电极上的电压由2V变到10V,因这两个电极靠得很紧（间隔只有几微米），它们各自的对应势阱将合并在一起。原来在第一个电极下的电荷变为这两个电极下势阱所共有。若此后第一个电极电压由IOV变为2V,第二个电极电压仍为10V,则共有的电

7、荷转移到密避瞄及下的势阱中。莅样以静阱及电荷图向右移与一个位置。CCD主要由三部分组成：信号输入、电荷转移、信号输出。输入部分：将信号电荷引入至IJCCD的第一个转移栅极下的势阱中，称为电荷注入。电荷注入的方法主要有两类：光注入和电注入电注入：用于滤波、延迟线和存储器等。通过输入二极管给输入栅极施加电压。光注入：用于摄像机。用光敏元件代替输入二极管。当光照射CCD硅片时，在栅极附近的半导体体内产生电子一空穴对，其多数载流子被栅极电压排开，少数载流子则被收集在势阱中形成信号电荷。在CCD栅极上施加按一定规律变化、大小超过阈值的电压，则在半导体表面形成不同深浅的势阱。势阱用于存储信号电荷，其深度同

8、步于信号电压变化，使阱内信号电荷沿半导体表面传输，最后从输出二极管送出视频信号。为了实现电荷的定向转移，在CCD的MOS阵列上划分成以几个相邻MOS电荷为一单元的循环结构。-位CCD中含的MOS个数即为CCD的像数。以电子为信号电荷的CCD称为N型沟道CCD,简称为N型CCD。而以空穴为信号电荷的CCD称为P型沟道CCD,简称为P型CCD。由于电子的迁移率远大于空穴的迁移率，因此N型CCD比P型CCD的工作频率高得多。CCD的特点体积小，功耗低，可靠性高，寿命长。空间分辨率高，可以获得很高的定位精度和测量精度。光电灵敏度高，动态范围大，红外敏感性强，信噪比高。高速扫描，基本上不保留残象（电子束

9、摄象管有1520%的残象）集成度高可用于非接触精密尺寸测量系统。无像元烧伤、扭曲，不受电磁干扰。有数字扫描能力。象元的位置可由数字代码确邀便于与计算机结合接口。第四章检测半导体激光器驱动主动法PIN被动法电压放大型En和In测量方法)电流放大%En、In噪声肱(循配电阻，噪声系薮J放大器噪声,噪声系数的噪声国配+I2R2nAnns其中，QJ+ZV电瓦IEnA总是存在的，所以，F1,单位为：NF=WIogF(dB),换言之，En、In的值越小，F越接近1。F=1,理想“无噪声噪声放大器”。同样，若存在，仍可以达到F=1的目标。锁相放大器组成1IA的基本工作原理通过调制或斩光，将被测信号由零频范围

10、转移到设定的高频范围内。检测系统变成交流系统；在调制频率上对有用信号进行选频放大；在相敏检波中对信号解调。同步解调作用截断了非同步噪声信号，使输出信号的带宽限制在极窄的范围内；通过低通滤波器对检波信号进行低通滤波。锁相放大器(1oCk-inAmp1ifier,1IA)是一种对交变信号进行相敏检波的放大器.利用与被测信号有相同频率和相位关系的参考信号作为比较基准，只对被测信号本身和那些与参考信号同频（或倍频）、同相的噪声分类有响应.故能大幅度抑制无用噪声，改善信噪比。具有很高的检测灵敏度，信号处理比较简单.1IA的组成信号通道：交流放大、调制、带通滤波参考通道：触发、移相、方法驱动相敏检波：模拟

11、乘法器，电子开关低通滤波：RC滤波器。1IA特点要求对入射光束进行斩光或光源调制，适用于调幅光信号的检测;极窄带高增益放大器，增益可达IO11,带宽窄到0.0004Hz；交流一直流信号变换器;口以木产滩测中的背景羯射噪声和前置放大器的0xicwacABPFAPSDI克服相位偏移正交矢量锁相放大器参考通道21PFfGdcA1PFGdcfi+2f0运行步骤利用检测光脉冲的激励源，取得和输入光脉冲同步的触发信号;利用门延时和门脉冲宽度控制单元形成与触发脉冲具有恒定时延或时延与时间成线性关系的可调脉宽取样脉冲串；取样脉冲控制取样开关对连续的周期性变化信号进行扫描取样;积分器对取样信号进行多次线性累加，

12、经过滤波后获得输出信号。取样平均囚WR原理：首例采St）个汉信W）重鬻率相同的参考信号对信号a行i使噪声的统计平均趋近于S麻户进而s%于#信号用零，从而获得“干i净”勺信号。对应的信噪比改善为可见，取样积分器的信号比改善与积分次缪可成正比。是加湾及克服在长时间的取样、扫描过程中,孔容漏电、放大器冬,，口|益变化、温漂、时漂、激励源起伏等，将导致被测信录:生漂移一一基线漂移JI第六章光电检测系统直接检测与二次调制直接检测:无论是相干或非和二1,都是利混*射的光强携带信息。光电探测器直接把接受到的光强的、化J换为电信号M变,然后，用解调电路检出所携带的信息。二次调制（副载波调制）一次调制二次调制主

13、要调制方式x(t)=Acos(wOt+)振幅调制（AM）频率调制（FM）位相调制（PM）脉码调制（PCM）波长调制、偏振调制等幅度调制、双边带调制、单边带调制AM调制基本原理及特性SAM(t)=A+f(t)c(t)其中，初始信号f(t)=Amcos(wmt+m)调制信号C(t)=COS(W0t+)AO为初振幅于是得到，sAM(t)=A0cos(wot+)+05Amcos(wm+w0)t+m+0.5Amcos(wm-w0)t+m-若m=G=0,则上式简化为SamAoCoSWot+0.5AmCoS(Wm+w0)t+0.5Amcos(wm-w0)tAM调制频谱定义调制效率：输入功率与调制后信号功率之

14、比，亦即“八PAM=O5Arn(Ao2+O5Am2)助尸元麻标FSA常为初始信号功率。,t的功率作为信号传:O.双边带调制(DSB)令A0=O,则有Sdsb(t)=m(t)cos(w0t+)1-www33JO其它S(t)=f(t)+AdIO直接检测系统的解调属于非相干解调，或称为包络解调技术基本A原理为f(t)S(t)=f(t)+A,madO包络信号经AM调制后，其幅度为光外差检测(零差、外f差)一系f统的基本结构、工作原理，特点E(t)=As(t+)E(0=Acos(t+相干检测基本原理/xTS设入射到探测器上的信号光场为：场为E：(t)+E(t)入射到探测信Agqs(31+)+Acos(cot+)sss111CRUCI2RSNIR=P1二2R01相干检测系统的f曹3匕改善为4S2E2E24S2PPS1=s1S2于S2Pss光外差检测的特性可获得全部信息：不仅可探测振幅和强度调制的光信号，还可探测频率调制及相位调制的光信号，2即仁%测声输我电流中包2含P有信号光的振幅、频率和相位等全部信息G。_s_1=1转换效率高：转换增S益2他!，2RO71（B,对微弱P信号的你则有利相扃创率差频信号是由具有恒定频率（近于单频）和恒定相