无尘车间管理方针.docx

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1、江苏施诺照明有限企业无尘车间管理制度1.0无尘车间管理的目的2.0无尘车间管理的原则3.0合用范围4.0术语5.0管理程序5.1无尘车间施工管理制度5.2无尘车间洁净度定期检测制度/测量原则5.3无尘车间人员管理制度5.4无尘车间洁净服管理制度5.5无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度5.6无尘车间清洁、打扫和灭菌管理5.7无尘车间洁净室安全管理6.0版本更改记录1. 0无尘车间管理的目的1ED产品生产过程对车间有明确B洁净规定，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。2. O无尘车间管理0原则2.1 1进入洁净室B管理，包

2、括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备B搬入以及有关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服日勺制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和打扫、灭茵等，尽量地减少、防止洁净室内尘粒、微生物B产生、滞留、繁殖等。2.3 3严格各类设备、设施的维护管理，制定对应日勺操作规程，保证各类设备、设施按规定正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具（工装夹具）等。以保证产品生产工艺规定和空气洁净度等级。2.4 打扫、灭菌管理，对洁净室内日勺各类设备、设施日勺打扫、灭茵以及措施、周期和检查作

3、明确的J规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。2.5 洁净室环境控制日勺内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触B水或气体或化学品和生产设备、工器具等B污染物控制以及微振动、噪声、静电日勺控制、防止等。3. 0合用范围1ED企业所有洁净生产区及洁净辅助间（包括人员净化用室、物料净化用室和有关生活用室等）、车间内管理区（包括部分办公、值班、管理和体息室等）和未来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。1ED生产区是洁净厂房0重要部分，对洁净级别有明确规定0区域。洁净辅助间是洁净厂房不可缺乏的必备房间。洁净辅助间对洁净厂房的平面关系亲密，对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满

4、足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程0污染或交叉污染至关重要。管理区是洁净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福运用房。设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房的重要构成部分。5.O管理程序5.1无尘车间洁净室施工管理制度5.1.1背景5.1.1.1半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵照行业规则和程序。本文献列出了这些规则和程序的J概要。为了保证项目的成功，现场日勺每一位人员都必须遵守。5.1.1.2图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。5.1.1.3洁净室施工管理制度目前重要

5、针对一期主厂房内0局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定日勺原则进行管理。5.1.2责任与义务5.1.2.1所有承包商有责任保证他们0工人都理解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时予以培训和训练。被分派到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。5.1.2.2承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的J人员和设备。5.1.2.3承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域

6、工作的人员进行培训，并维护被容许在此区域工作的J人员身份认定和管理。5.1.2.4开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体企业在该入口处安排有人员）以保证本规则和程序的执行。5.1.2.5反复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序B供应商将被除名。5.1.3草案细则洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一种过程。施工靠近竣工阶段,不容许从外面或洁净区域日勺施工场地带入脏物。5.1.3.1第一部分第一部分重要针对直到重要施工完毕后。包括屋顶，覆层，门和窗户。所有工人必须从图纸上标明0通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。所有工人进入必须保持鞋子洁净。不容许穿奇特的服

7、装，工人的衣服应当保持合适的J洁净。现场安全规则必须时刻遵守。令所有设备和材料必须从一种入口进入施工现场，并且保持洁净，不容许有碎片掉下。施工现场内不容许吃东西，吸烟，喝酒。令每班结束时，必须清走所有垃圾和废旧物品。总之，整个施工现场每天必须保持洁净。5. 1.3.2第二部分任何也许会导致污染的活动必须必须提前通过洁净工程承包商日勺同意。这包括砂纸打磨，碾，开凿，演习，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何也许的措施防止污染。装好日勺地板必须用PVC板包装保护。令第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。第二部分草案执行期间，洁净区域必须每天吸尘。5. 1.3.3第三部分令第三部分重要

8、针对直到生产车间所有建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力规定。令进入日勺工人穿鞋套和工作服。令所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。令在第三部分草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置B洗尘设备吸尘。6. 1.4洁净安装必须采用洁净措施保持安装洁净。各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应当用IPA和水的混合物擦拭。洁净安装过程中，必须亲密关注所采用的洁净措施0可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。5. 1.5最终洁净洁净区域0所有安装完毕后，要进行最终洁净。洁净要用IPA和水B混合物擦拭。先洁净天花板，然后是墙壁，

9、墙壁应从上到下，最终是地面。最终洁净完毕后，此前的原料成品仓库入口将被保护。最终洁净完毕后，非车间工作人员或该车间管理人员进入都必须通过总经理的同意。5.1.6设备、物品进入洁净室规定5.2无尘车间洁净度定期检测制度/测量原则5.2.1为了保证洁净室的洁净度满足工艺规定，必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。5.2.2检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测5.2.3 检测条件：静态洁净度测试5.2.4 数据搜集整顿：将每次检测的成果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度0洁净度记录图表电子档通报给各部门。5.2.5各洁净区域洁净级别原则：按照1ED能源管

10、理原则规定执行。区域、系统名称洁净等级原则相称于ISO级别等效于GB级别K-1系统划片区域静态1万级K-1系统改造前为静态10万级C1ASS7C1ASS8C1ASS7C1ASS8K-2系统包封区域静态30万级C1ASS8.3C1ASS8.3K-3系统搪锡区域静态30万级C1ASS8.3C1ASS8.3K-4系统测试区域静态30万级C1ASS8.3C1ASS8.3K-8系统电镀区域静态30万级C1ASS8.3C1ASS8.3既有其他空调系统舒适性空调系统，无洁净规定NotApp1icab1eNotApp1icab1e5.2.6洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与对应的操作规程、维修制度等（包括

11、净化空调系统和洁净室有关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行江苏施诺照明有限企业厂务部有关SOP文献。5.2.7参照文献FSD-SOP-OI供电操作指导书及规范制度FSD-SOP-4-4制冷机操作指导书令FSD-SOP-06厂务部安全操作规程FSD-SOP-07设备维护保养流程FSD-SOP-08消防系统操作指导书令FSD-SOP-12厂务部运行管理制度ATD1210C能源管理原则JVP1301C公共设施管理规定5.3洁净室人员管理制度5.3.1洁净室日勺人员管理包括：制定专职管理人员0职责、洁净室人

12、员0准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员日勺“人净程序”管理和退出管理制度等。5.3.2人员净化与进入5.3.2.1在洁净厂房内众多的污染源中，人是重要污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增长洁净环境0污染程度。5.3.2.2对于高级别洁净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。5.3.2.3要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。5.3.2.4为保持洁净室空气洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入B污染物。所有进人洁净室0人员必须严格地按规定程序进行人身净化。5.3.2.5个人衣服物品所有放到指

13、定的柜子里，去掉化妆，换上指定的服装，按空气洁净度等级对应的脱衣次序脱衣，放在规定的衣柜内。5.3.2.6进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，严禁不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。5.3.2.7若企业后期发展需要更高洁净级别规定B洁净区域（指高于ISOC1ass7级别）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干）。5.3.2.8但凡交叉污染B媒介，要常常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。5.3.3洁净室工作人员须知5.3.3.1进入洁净室0人员应严格执行人身净化制度、路线和程序，任何

14、人不得随意更改。在洁净室内必须按规定着衣、戴帽、换鞋。5.3.3.2进入洁净级别1万级以及高于万级0洁净区域，必须至少通过二次更衣。可先从一次更衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子（或洁净头套）后，通过走廊进入二次更衣室，进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确认更换完毕后，进入风淋室进行风淋后，才能进入万级以及高于万级的洁净区域。5.3.3.3严禁不通过风淋而直接走旁通门进入洁净室。旁通门只容许人员出到洁净间外以及发生紧急状况时B进出。5.3.3.4作业人员在洁净室内工作时，动作要轻。严格执行操作规程，不容许跑跳、打闹及喊叫，不作不必要0动作，不作易发尘和大幅度0动

15、作。5.3.3.5作业人员在洁净室内工作时，尽量防止人员汇集现象。若个别工位无特殊协作需求，其他工位员工严禁汇集、围观与自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。5.3.3.6为不干扰气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作一般应在洁净工作台或气流的上游进行。5.3.3.7不容许将与生产无关和轻易产尘的物品带入洁净室，严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。5.3.3.8患有如下几种疾病B员工是不适宜进入洁净室的：呼吸系统疾病（如严重0感冒咳嗽等，患者除了会传播病菌、病毒外，还会因咳嗽而产生大量的污浊颗粒混入洁净的空气中）、皮肤疾病（如明显脱皮、掉皮屑的皮炎等）；针对上述情形若采用了可靠的额外人净措施时是可以进入洁净室的I。5.3.4洁净室人员退出时应注意的事项5.3.4.1为了防止再次进入和来回作业对洁净室导致交叉污染按规定的次序退出洁净室。5.3.4.2洁净室人员在作业中途