刻蚀机设备单机试运转及验收范例.docx

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1、刻蚀机设备单机试运转及验收范例试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境应符合下列规定：1）洁净度等级应为6级，温度应为22.5C25C,湿度不应大于60%；2）地面应有防静电措施。2动力系统应符合下列规定：1）三相交流电源电压应为20010%,频率应为50Hz；2）冷却水压力应为0.350.5MPa,流量应为581min;3）压缩空气压力应为0.40.5MPa,流量应为51min;4）排风管接口直径应为150mm250mm,风量应为5Ie）1ymin,对于酸碱排设备接口衔接材质需要耐酸碱，接口收边防毛刺等现象。3设备系统内部检查应符合下列规定：1）片盒位置对外接口正确；2

2、）机械手运动范围无异物；3）反应室内对外连接管道（包括真空、化学气体）和电路应连接无误。4设备系统检查应符合下列规定：1）电缆接线应正确、可靠；对应相线色标标记完成，挂牌信息清晰完整。2）绝缘电阻不应小于4MQ；3）接地应正确可靠；设备需要独立接地4）4RF接入检查；工艺冷却水是否遗漏，供电电源是否完成，管线完整无误。5）真空泵运转方向应正确；真空管路角度是否合理。6）所有运动部件的动作确认；7）检查冷却水、高压空气、保护氮气阀门应开启。8）气体管路连接完成，管路标签及易碎标签粘贴完整，各系统测试完整。5设备脚柱安装稳固，增加分压板，真空泵类设备需要安装固定脚。E.6.2验收项目应符合下列要求：1接通电源主机应显示电源接通。2反应室门应关闭并有返回信号。3应检查各安全联锁是否工作正常。3.1控制盘及机台应设EMO并已测试功能正常。3.2所有门应设连锁装置INTER1OCK并与EMO相串连。3.3电气及加热设备箱外应装感温警报。4打开冷却水阀门时，水流开关应开。5打开压缩空气阀门时，减压器应显示气体压力。6并有本项性能之验收测试报告。7所有设备柜门都不应有障碍物，应可正常开关，如二次管路遮挡。