探针台选型的注意事项.docx

《探针台选型的注意事项.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《探针台选型的注意事项.docx（2页珍藏版）》请在第一文库网上搜索。

1、探针台选型的注意事项探针台是一种很专业的仪器，它主要的功能就是针对半导体元件进行检测，这里面说的半导体元件指的是集成电路，分立器件，光电器件，传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流，电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析，抽查检测等；可以保证这些半导体元件的质量，缩短研发时间和器件制作工艺的成本，所以，它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。随着半导体市场的逐步开放和增长,作为半导体检测的必备仪器一探针台的市场也在逐年增长和扩大中，不论是海外品牌还是国产品牌，近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。从全球的探针台市场来

2、看，目前还是以国外的企业为主导，他们占据了大部分的探针台市场。近乎7成的市场份额都被国外探针台企业所占据，仅有3成的市场由台湾企业及国内的厂商占据，可以说比重较低。由于我国在半导体市场上长期被国外企业掣肘，因此，我国已经开始下大力气在半导体的研发中了，国家会给半导体行业很多政策上的扶持。所以，国内的探针台企业也在努力力争上游，带着研发团队不断提升自身技术和自身的竞争力。相信在不久的将来，我国半导体行业将会有飞跃性的进展。探针台按照功能区分，分为常温探针台，高温探针台，高低温探针台，以及霍尔探针台还有其他定制型专用探针台等，而目前常温探针台，高温探针台无论是性能还是操作使用便捷性上，都已经足以媲

3、美进口品牌，而高低温探针台液氮（77K）温区经过这几年的发展品质也足够稳定，至于超低温液氮（4K）温区还在需要更多的磨练与发展。但是这里值得注意的是不管处于哪个技术要求下的探针台，国产探针台的价格都能比进口探针台相差几倍，甚至几十倍之大。以下是探针台选型注意事项最大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸？探针台机械精度要求多高？点测样品的电极尺寸？IOom*100m或60m*60m的pad,还是F旧制作的minipad,或者ic内部的meta1线路？最多需要几个探针同时去点测？是否会用到探针卡测试？光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？显微镜方面，是否需要添加偏光片做1C液晶热点侦测？探针点测时，对电流的要求能否达到IOOfa或者以下？低电容要求能否要做到01pf?是否有射频需求？接驳的测试仪器接口有哪些？测试环境时是否会需要加热或者降温？是否需要密闭腔体？对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck?是否需要防震桌？若添置防震桌，是否有压缩空气？