聚氨酯无纺布复合抛光垫.docx

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1、一吟Si1：ICS良_-AX.A刖本文件按GBT11-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件由上海市新材料协会提出。本文件由上海市新材料协会标准化技术委员会归11。本文件起草单位：本文件主要起草人：本文件于2023年月日首次发布。无纺布/聚氨酯复合抛光垫1范围本文件规定了无纺布/聚氨酯豆合抛光垫的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于无纺布/聚氨酯复合抛光垫，用于硅晶片、1CD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等领域，还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及1CD面罩、被、熔融石英、磷化锢、胡酸锂、也酸锂、不锈钢、铝、膨胀玻璃抛光.

2、2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。CBb2411-200也燃料和硬橡胶一一使用硬度计测定压痕硬度（邵氏硬度）一二带格式的：字体颜色：自动设亘GB/T3505-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数二带格式的：字体颜色：自动设.GBfT6342-1996泡沫塑料与橡胶线性尺寸的测定GB/T6343-2009泡沫塑料及橡胶表现密度的测定GB/T6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T6624-2009联抛光片表面质

3、量目测检验方法GB/T24442.1-2009纺织品压缩性能的测定第I部分：恒定法GBfT29507-2013硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。无纺布/聚氨时复合抛光垫nonvovens/po1yurethanecompositepo1ishingpad疑氨酯溶液与无纺布基底通过特定的工艺豆合而成。；带格式的:字体颇色：自动设置4分类无纺布/聚氨酯更介抛光型按产品的邵尔C硬度不同分为:PGFS一产品的硬度为65+5也PG-M产品的硬度为75+5；PG-H产品的硬度为855。45技术要求带格式的：缩进：左侧：0厘米，首行缩进：。照h/15.1

4、规格尺寸一二带格式的：字体颜色：自动设置/带格式的：字体颜色：自动设置I无纺布/聚凝幽夏台抛光垫规格尺J见行W360mm、913mm、1120mm、尺1220mm、01300mm、/带格式的：字体颜色：自动设置）(nn.W乂-t,z7j1.2-3nn.歌生片，R；.HhJ出w乂工一ZZ54.2外观带格式的：字体：（默认）TimesNerRoman,（中文）宋体，字体颜色：自动设？T,图案：消除带格式的：/体颜色：自动设置无纺布/聚氨酯比合抛光垫外观为衣而平血型或网格型、螺旋线型等开槽的薄垫.45.3物理性能无纺布/聚氨酯匆合抛光垫物理性能应符合表M的要求。表，1物理性能指标项目要求PG6SPG

5、-MPG-H密度，gCB,0.30.040.370.0450.450.058压缩率，%5130.520.5压缩弹性率.%75570570590硬度,邵尔C65575585+5吸水率，%12010ooo801045.4应用性能无纺布/聚氨酯笑合抛光垫应用性能应符合表22的要求。表22应用性能指标项目要求PGSPG-MPG-H去除率um/rnin0.6-0.70.7-0.80.8-0.9平整度，TTVm,Um222坑点划伤数，%2.52.50.20.250.356试骗方法56.1尺寸按GB/T6342-1996规定进行测定1。56.2外观按GB/T24442.2009规定进行，,样品尺寸为30In

6、mX30mmX1.2mm,压脚面积&785cM速度，手动加载，轻压载栉300*fcm2,加压时期0s,测定共厚度I重压载荷1800gfcm2,加压时间WS.测定乂：.厚度也56.5压缩弹性率按GB/T24442.1-2009规定进行，样品尺寸为30mmX30mmX1.2mm,压脚面积a785c叫-载述糜，手动加载，轻压载荷300gfc加压时间30s,重压载荷18荷gfcm2,加压时间陋，恢豆时间60s.带格式的：字体颜色：自动设置带格式的：;体颜色：自动没置.H7常格式的：字体颜色：自动设徨常格式的：字体颜色：IEJ设徨二带格式的：字体颜色：门动设附，卜标格柘玄鬲;字体颜色：门动设巴带格式的；

7、字体前色：自动设置带格式的：字体佻色：自动没置.ITT带格式的：字体法色：自动设置一带格式的：.?体颜色：自动设置一常格式的：休，色：IEJ设置一常格式的：卞体颜色：门动设行,)：1:56.6硬度按GB/T2411-2008规定进行，采用ShoreC型硬度计。56.7吸水率从产品中裁取5个尺寸为IOomm*10Omm*1.2mm的样品，称重Y1,样品质量至少为1g。将样品放入金属网中，随后将带Tr样品的金属网放在容器中，距离液面约20Inm处.（60Ds后取出样品和金属网，垂直悬挂样品（1203）S,对样品称重Y2,按式1计算吸水率X=（M4_M1）/M,式中：,：带格式的：字体颜色：自动设设

8、!之:带格式的：厚体颜色：口动设置X吸水率，%M1浸水前样品质量，mgM2浸水后样品质Si,mg取5次测重结果的平均值。56.8去除率56.8.1取8M2片尺寸为片8英士吟JttHX的里面研废未绐光的硅片（N型单晶硅，P参杂）J按SB/T6618-2009规定测定硅片厚度ho。带格式的：字体偏色：自助设置带格式的：字体颜色：自动设置带格式的：字体：（国同J京泳带格式的：字体：（国近）东体带格式的：字体：（国际）宋体池生2圈尺寸直径为婚嗯Xmmj夕度12耐的X词蚪形j光场和出井装入抛光机中,ff盘即个抛光头7每盘个抛光头共0s9片？：采用抛光垫配合倒化硅抛光液（Swo11504A牌号J光硅片衬庭

9、,抛光工莒及定为康力1MOI,转速：45Fp抛光时间：20*yg0tin:温度：4比卬5：抛光液稀释比上2Qsj：so。按附录A规定抛光硅片一56.8.3按GB/T6618-2009规定抛光后硅片的厚度h0按卜式计算去除率Y：y-1-h0(2)式中:Y去除率，m/minhi抛光后硅片的厚度，Umho抛光前硅片的厚度，Umt抛光时间，min56.9平整度按附录规定抛光后,按GB/T29507-2013规定测定硅片。56.10坑点划伤数带格式的：区瓷拼n和语法m式的：字体：（国际）宋体带格式的;坎认段落字体，字体：宋体带格式的：段,左,行即：固定俄20崎，字体对齐芬为：自动对齐带格式的：检杳拼骂和

10、语法带格式的：字体：（国京泳:带格式的：字体：号体颜色：门动议区，（国际）宋体带格式的：字体：（默认）宋体，（中文）宋体.字体翁苞：自动设置带格式的：字体：字体钝色：门动设置.（国际）束体奇格式的：字体：（国际）宋体带格式的：字体：字体颜色：自动设置，（国际）宋体常格式的：字体：（国际）末体常格式的：字卜，仙：家体，。家工常格式的、字体：（国同J未体带格式的:工心（默认京体，（中丈）宋体带格式的：字凡：国际）东体，格式的：字体：然认：人，；.：U大叫带格式的：字体：N际）木体:带格式的：依阿修和治法56.11粗糙度-2规定抛光后，按SB/T6624-2009双定测定硅片。带格式的：字体：宋体,

11、不检查拼写或语法带格式的：默认段落个体.字体：（默认）TimesNewRoman,不检ft推写或用法按附录Aa制按附录AJ%2规定抛光后,按GB/T3505-2009规定测定硅片。67检验规则67.1检缝分类检验分为出厂检验和型式检验。67.1.1出厂检验出厂检验每批检验一次，检验项目为尺寸、外观、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度、。67.1.2型式检验型式检验为全项目检验。有下列情况之一时，应进行型式检验：a）新产品或老产品转产生产的试制定型鉴定：b）正式生产后，如配方、原料、工艺改变，可能影响产品性能时：c）产品停产一年以上，恢且生产：d）正常生产时，卷年进行一次检验：c）出厂检验结果与上次

12、蛰式检验有较大差异。67. 2组批检验以批为单位。以同一卷无纺布基布制备的抛光垫为一个检验批。包.3抽样出厂检验样本应从每一批中随机抽取3片抛光垫作为试验样品进行检验，曳验抽样需在同一批中抽取。型式检验的样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取5片抛光垫作为试验样品进行检验。67.4判定与复验规则检验结果若有任何一项不合格者，应重新取两份试样对该项目进行复验，且验结果仍不合格时，则该批为不合格品。78标志、包装、运输、贮存78.1标志包装容器上应标有下列内容：a）产品型号和中文名称：b）规格尺寸：c）产品标准号：d）产品数量，以PCS表示：e）生产厂名：f）生产日期和批次；g）有效贮存期。K.2包

13、装IOPCS/箱或者20pcs箱,箱子材质为硬纸板，可根据客户要求调整包装数适。78.3运输产品在运输时应防止雨淋、日光曝晒，并符合交通运输部门的有关规定。8.4贮存应贮存在阴i京、通风、干燥的仓库内，防止日光直射，并应隔绝火源，远离热源。在符合上述贮运条件下，自生产之日起，产品保质期年。作格式的：字体：（国际）黑体附录A（规范性附录）抛光垫抛光试验方法带格式的：参考文献、索引标版2级，缩进：左恻:0麻悬挂缩进：5.25字符，定义网格后不调整右缩进，段落间距段前：12硫,段后：12场，不调整西文与中文之间的空格,不调猱中文和之字之间的空格A2.1试验设备式的：.工体：（默认+中文正文（宋体），

14、（中文）+中文正文（宋体）鲁格式的：字体：（默认+中文正文（宋体），（中文）+中文正文（宋体）带格式的：字体：（国际）黑体育格式的：字体:黑体带格式的：字体：（国际）黑体带格式的1n常格式的A2I试骏材料.双面研磨硅片，旦英寸（N型单晶硅，P参杂）上抛光垫,常格式的常格式的带格式的带格式的带格式的倍格式的带格式的氯化硅抛光液A3试验步奥按1：20si：30比例此例抛光液一将抛光举！,；”面研构H：片一J.4,每一台机器设定2个抛光头抛光15：一T；“东川抛光垫而.ji他先I.i2定为：.压力：IOOkpu,转速：45rpm,此光H寸间：2OmE-JTomin.温咬：421T5C.抛光液:；、,双面研磨旧片装.MJi：.，.A.4结果处理带格式的带格式的带格式的带格式的带格式的带格式的带格式的：?体：【国际）民体带格式的：,体：（国际）”体常格式的带格式的三默认段落体招招嘉勺：蚁认段落字体带格式的带格式的带格式的带格