GB_行业标准高纯铟讨论稿.docx

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1、ICSCCSH66YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/T264XXXX代替YS/T264-2012I纯锢Highpureindium（工作组讨论稿）XXXX-XX-XX实施XXXX-XX-XX发布中华人民共和国工业和信息化部发布本文件按照GB1.12023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替YS/T264-2012高纯锢，与YSZT264-2012相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：a）更改了标准的适用范围（见第1章，2012年版的第1章）；b）更改了规范性引用文件中引用的化学分析方法文件（见第2章，2012年版的第2章）；c）增加了术语和

2、定义章（见第3章）：d）更改增加了高纯锢的牌号表示，In-05改为In5N、In-06改为In6N、增加了In6N5牌号（见第4章4.12012年版的3.1）；e）更改了牌号In-O5、In-06高纯锢的化学成分要求（见4.2,2012版的3.2）f）增加了规格（见4.3）；g）删除了锭形和锭重（见2012年版的3.3）：h）更改了化学成分的试验方法（见第5章，2012年版的第4章）；i）更改了检查和验收的内容（见6.1,2012版的5.1）j）更改了组批的规定（见6.2,2012版的5.2）；k）更改了取样和制样要求（见6.4,2012年版的5.4）。1）更改了检验结果判定（见6.5,201

3、2年版的5.5）。m）更改了标志、包装、运输、贮存内容（见第七章，2012年版的第六章）n）更改了订货单（或合同）内容（见第八章，2012年版的第七章）。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAcTC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。本文件起草单位：云南锡业集团（控股）有限公司等本文件起草人：符泽卫等本文件所代替文件的历次版本发布情况为：1994年首次发布为YSfT264-1994,2012年第一次修订；本次为第二次修订。高纯锢1范围本文件规定了高纯钿的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量

4、证明书和订单（或合同）内容等。本文件适用于以工业粗钿或精锢为原料,经原料处理以及电解精炼、真空蒸储等工艺制得的高纯锢。产品供制作化合物半导体、靶材、蒸镀、高纯合金、高级轴承及半导体材料的掺杂剂等。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定YS/T981.1高纯钿化学分析方法衡量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4要求4.1产品分类高纯钿按其化学成分

5、，分为三个牌号Ir）5N、In6N、In6N54.2化学成分4.2.1产品的化学成分应符合表1的规定。表1高纯钢的化学成分牌号In5NIn6NIn6N5In含量,不小于99.99999.999999.99995杂质含量/（gg）,不大于Fe0.40.050.01Cu0.40.050.01Pb10.050.05Zn0.4().050.02Sn10.10.08Cd().50.050.01T110.050.05Mg0.40.0050.005A10.40.0050.005As0.40.050.005Si10.10.05S10.10.02Ag0.4().050.05Ni().50.050.01Bi0.5

6、0.050.02Sb0.50.080.08Ga0.050.0050.005Cr0.050.0050.005Hg0.050.0050.005Co0.050.0050.005其它0.090.005杂质总和/(gg),不大于1010.5注1：用户对其他杂质元素要求提供检测数据时，可由双方协商解决。注2：高纯钿的钿含量为100%减去杂质(不包含C、N、O等气体元素)总和的余量。杂质总和为包括且不限于表中所列杂质元素实测值之和。4.3规格高纯锢分为锭状、棒状、粒状、饼状等。具体规格尺寸要求由供需双方商定。4.4外观质量呈银白色，表面光亮、平整，无夹杂、飞边、毛刺、缩孔、氧化膜及污物。4.5其它需方如对高

7、纯钿的化学成分、表面质量、锭重等有特殊要求时，由供需双方商定。5试验方法5.1 高纯钿的化学成分检测按YS/T981.1的规定进行，或按照供需双方协商确定的方法进行。分析数值的判定采用修约比较法，数值修约规则按GB/T8170的有关规定进行，修约数位应与表1规定或供需双方协商的极限数位一致。5.2 产品的重量用称量法检验。5.3 产品的表面质量用目视法检查，仲裁时应在自然散射光下进行。6检验规则6.1检查和验收6.1.1 产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合标准或订货单（或合同）规定，并出具质量证明书。6.1.2需方应对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单（或合

8、同）的规定不符时，应在收到产品之日1个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方，相关事项由供需双方协商确定。6.2组批高纯锢应成批提交检验，每批应由同一原料生产、同一生产批次生产高纯钢产品组成，每批高纯锢产品的重量不超过200kgO6.3检验项目每批高纯锢应进行化学成分、表面质量和重量的检验。6.4取样和制样6.4.1取样6.4.1.1产品取样从每批产品中随机抽取不少于总量的10%作为样品，熔化混合均匀后进行检验。6.4.1.2取样时对规格及外观质量进行逐件进行检验。6.4.2制样将样品制备成以下两种规格之一：a）直径为25mm30mm、厚度为35mm,表面平整、

9、无缩孔的饼状样品：b）截面积为4mm29mm2,长度为20mm的棒状样品。6.5检验结果判定6.5.1如化学成分的分析结果与本标准规定（或订货合同）不符时，判该批产品为不合格。6. 5.2表面质量、规格和重量的检验结果与本标准（或订货合同）规定不符时，判该包装单元（锭、棒、粒、饼）不合格。7标志、包装、运输、贮存7. 1标志7.1.1 高纯锢每袋应贴标签，并注明：a）产品名称；b）牌号；c）产品重量；d）其他。7.1.2 高纯锢应包装成箱，每箱上注明：a）供方名称；b）产品名称；O批号；d）件数；e）出厂日期；D其他。7.2包装、运输、贮存7.2.1包装采用以下两种方式之一进行包装：a）高纯锢

10、内层用塑料袋真空封装，外层用铝箔纸真空或充氧（3a=99.999%）封装，装入符合环保要求的包装箱内，箱内空隙用填料塞紧。每箱重量不大于25kg,包装箱外用包扎带捆紧。b）按双方认可的包装规格和包装方式进行包装。7.2.2运输高纯钿在运输过程中应防潮，不得与酸碱等腐蚀性物质混装和混运，不得剧烈碰撞。7.2.3贮存高纯锢应贮存在阴凉、干燥、通风、清洁、无酸碱气氛之中。7.3质量证明书每批产品都应附上质量证明书，其上注明：a）供方名称；b）产品名称和牌号；c）批号；d）净重和件数；e）分析检验结果和技术监督部门印记；f）本标准编号；g）出厂日期（或包装日期）。8订货单（或合同）内容需方可根据自身需要，在订购本文件所列产品的合同（或订货单）内，列出如下内容：3）产品名称；b）牌号；c）规格；d）产品数量；e）化学成分及检测方法的特殊要求；f）包装要求；g）本文件编号；h）其他需要协商或增加的标准以外的内容。