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1、集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则(2024年版)第一条本审批原则适用于建设项目环境影响评价分类管理名录(2023年版)中电子器件制造397中的集成电路制造建设项目环境影响评价文件的审批。第二条项目应符合生态环境保护相关法律法规、法定规划以及相关产业结构调整、重点污染物总量控制等政策要求。第三条项目选址应符合生态环境分区管控要求,不得位于法律法规明令禁止建设的区域,应避开生态保护红线。鼓励新建、扩建项目选址布设在依法合规设立的产业园区内,符合园区规划及规划环境影响评价要求。第四条强化节水措施,鼓励再生水使用,减少新鲜水消耗,鼓励清洗水回用,提高水的回用率和重复利用率。第五条鼓励采用转
2、轮浓缩吸附燃烧装置处理硅片有机洗、光刻、湿法去胶等工序产生的有机废气;应采用喷淋吸收等有效措施处理衬底清洗、湿法刻蚀、湿法去胶、含氟电镀等工序产生的氯化氢、氟化物、氮氧化物、硫酸雾、磷酸雾、氧化氢等酸性废气以及衬底清洗、显影等工序产生的氨、胺类化合物等碱性废气;化学气相沉积、干法刻蚀、扩散、离子注入、热氧化、干法去胶等工序产生的氟化物、氯气、氯化氢、硅烷、磷化氢等特种废气,以及焊接工序产生的铅及其化合物等涉重金属焊接烟尘应配置收集系统和净化处理装置,应采用干式吸附等有效措施处理离子注入工序产生的含碑废气。重点关注氮氧化物、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气、挥发性有机物、氧化物、氨等特征污染物的达标
3、排放情况。项目排放的废气污染物应符合大气污染物综合排放标准(GB16297)要求;项目工艺过程产生的氨以及污水处理站产生的氨、硫化氢等恶臭污染物排放应符合恶臭污染物排放标准(GB14554)要求;涉及使用VoCS物料的,厂区内挥发性有机物无组织排放控制应符合挥发性有机物无组织排放控制标准(GB37822)要求;锅炉烟气应符合锅炉大气污染物排放标准(GB13271)要求。有地方污染物排放标准的,废气排放还应符合地方标准要求。第六条按照清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理的原则,设立完善的废水分类收集、处理、回用系统,提高水循环利用率,减少废水外排量。生产废水优先回用。含氟废水、含氨废水、有机废
4、水、酸碱废水、含重金属废水、含碑废水等应设立完善的废水收集、处理、回用系统。鼓励含重金属废水采用化学沉淀法预处理,碑化像芯片制造产生的含碑废水采用过滤+化学沉淀法预处理;含氟废水采用化学沉淀法预处理,含氨废水采用吹脱法或厌氧氨氧化法预处理。根据生产工艺及废水排放种类,重点关注氟化物、总氮、总碑、总磷、重金属等特征因子的达标排放情况。项目排放的废水污染物应符合电子工业水污染物排放标准(GB39731)要求。有地方污染物排放标准的,废水排放还应符合地方标准要求。第七条按照减量化、资源化、无害化的原则,妥善处理处置固体废物。危险废物应委托有相应危废处置资质的单位进行处置。重点关注危险废物种类识别是否
5、遗漏。鼓励通过综合利用的方式实现固体废物减量化,鼓励废硫酸阶梯使用。危险废物和一般工业固体废物贮存应符合危险废物贮存污染控制标准(GB18597)、一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599)等相关要求。第八条优化高噪声区域及设备如大宗气站、动力站房、冷却塔、风机、空压机、锅炉等厂区平面布置,优先选择低噪声设备和工艺,采取减振、隔声、消声等措施有效控制噪声污染,加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理,同时避免突发噪声扰民。厂界噪声应满足工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348)要求。位于噪声敏感建筑物集中区域的改建、扩建项目,应强化噪声污染防治措施,进一步降低噪声影
6、响。第九条严格防控项目环境风险,建立完善的环境风险防控体系,提升环境风险防控能力,确保环境风险防范和应急措施合理、有效。针对项目可能产生的突发环境事件应制定有效的风险防范和应急措施,提出运行期突发环境事件应急预案编制要求。化学品库、化学品供应间等化学品存储区应设置事故废水收集或应急储存设施,以及采取其他防液体流散措施。应计算氯气、珅化氢、磷化氢等有毒有害气体的泄漏影响范围并提出环境风险防范和应急措施。第十条土壤及地下水污染防治应坚持源头控制、分区防控、跟踪监测和应急响应的防控原则。项目应对涉及有毒有害物质的生产、使用、贮存、运输、回收、处置、排放的装置、设备设施及场所,提出防腐蚀、防渗漏、防流
7、失、防扬散等土壤和地下水污染防治具体措施,并根据环境保护目标的敏感程度、项目平面布局、水文地质条件等采取分区防渗措施,提出有效的土壤、地下水监控和应急方案,避免污染土壤和地下水。对于可能受影响的地下水环境敏感目标,应提出保护措施;涉及饮用水功能的,强化地下水环境保护措施,确保饮用水安全。涉及土壤污染重点监管单位的新建、改建、扩建项目,需提出土壤污染隐患排查、土壤和地下水自行监测相关要求。第十一条改建、扩建项目应全面梳理现有工程存在的环保问题或减排潜力,提出有效整改或改进措施。第十二条明确项目实施后的环境管理要求和环境监测计划。根据自行监测技术指南和排污许可证申请与核发技术规范要求,制定废水、废
8、气污染物排放及厂界噪声监测计划并开展监测,监测位置应符合技术规范要求。排放全氟辛酸及其盐类和相关化合物(PFc)A类)等新污染物的土壤污染重点监管单位,还应依法依规制定周边环境监测计划。电子工业污水集中处理设施运营企业应按照电子工业水污染物排放标准(GB39731)开展废水综合毒性监测。第十三条项目污染防治设施建设依照中华人民共和国安全生产法有关规定接受监督。第十四条环境影响评价文件编制应规范,基础资料数据应符合实际情况,内容完整、准确。环境影响评价结论应明确、合理,符合建设项目环境影响报告表编制技术指南要求,需要开展专项评价的还应符合相关环境影响评价技术导则要求。锂离子电池及相关电池材料制造
9、建设项目环境影响评价文件审批原则(2024年版)第一条本审批原则适用于锂离子电池及相关正极材料、负极材料制造建设项目环境影响评价文件的审批。其中,正极材料制造包括前驱体、锂盐(碳酸锂、氢氧化锂等)制造,以及以前驱体、锂盐等为原料进行三元材料、磷酸铁锂、镒酸锂等正极材料制造,不包括制备前驱体所需的原料制造;负极材料制造不含石油焦等焦原料制造。具体涉及建设项目环境影响评价分类管理名录(2023年版)中基础化学原料制造261、石墨及其他非金属矿物制品制造309、电池制造384、电子元件及电子专用材料制造398行业中的锂离子电池及电池材料制造建设项目。第二条项目应符合生态环境保护相关法律法规、法定规划
10、,以及相关产业结构调整、区域及行业碳达峰碳中和目标、重点污染物总量控制等政策要求。第三条项目选址应符合生态环境分区管控要求,不得位于法律法规明令禁止建设的区域,应避开生态保护红线。新建、扩建涉及正极材料前驱体和锂盐制造的建设项目(盐湖资源类锂盐制造项目除外)应布设在依法合规设立的产业园区内,符合园区规划及规划环境影响评价要求。第四条新建、改建、扩建项目应采用资源利用率高、污染物产生量小的清洁生产技术、工艺和设备,单位产品的能耗、物耗、水耗、资源综合利用和污染物控制等指标应达到行业先进水平。新建锂离子电池制造项目清洁生产指标宜达到电池行业清洁生产评价指标体系中国内清洁生产先进水平。第五条项目应根
11、据工程内容、原辅材料性质、工艺流程情况配备高效的除尘、脱硫、脱硝以及特征污染物治理设施,依据废气特征等合理选择治理技术。锂离子电池涂布、极片烘烤工序应配备N.甲基此咯烷酮(NMP)回收装置,设置挥发性有机物吸附或燃烧等装置,排放的废气污染物应符合电池工业污染物排放标准(GB30484)要求。正极材料制造涉及氨、硫酸雾、磷酸雾排放的应配备吸收、洗涤装置。以锂辉石、锂云母、锂渣等为原料进行焙烧生产锂盐及其他中间产品的,焙烧烟气净化装置应具备去除氟化物(锂云母类)、重金属等污染物的功能,硫酸酸化焙烧等工序还应配备酸雾吸收装置。锂盐制造和正极材料制造项目排放的废气污染物应符合无机化学工业污染物排放标准
12、(GB31573)要求。负极材料制造涉及使用沥青物料的应设置沥青烟、苯并同花、挥发性有机物治理设施,采用吸附或燃烧等方法处理;包覆、炭化、石墨化工序应配备高效烟气收集系统及除尘设施,并根据原燃料类型、填充物料含硫量及烟气特征设置必要的脱硫、脱硝设施。石墨化工序应优化炉窑设备选型,优先采用低含硫率的填充物料。钛酸锂负极材料制造项目排放的废气污染物应符合无机化学工业污染物排放标准(GB31573)要求;石墨类负极材料制造项目炉窑烟气执行工业炉窑大气污染物排放标准(GB9078),其他环节废气执行大气污染物综合排放标准(GB16297)要求。涉及使用VoCS物料的,厂区内挥发性有机物无组织排放控制还
13、应符合挥发性有机物无组织排放控制标准(GB37822)相关要求。大气环境防护距离范围内不应有居民区、学校、医院等环境敏感目标。有地方污染物排放标准的,废气排放还应符合地方标准要求。第六条鼓励将温室气体排放纳入建设项目环境影响评价,核算项目温室气体排放量,推进减污降碳协同增效,推动减碳技术创新示范应用。优先采用电、天然气等清洁能源或新能源加热方式,鼓励高温烟气余热回收。第七条做好清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理。生产废水优先回用,污染雨水收集处理。含盐废水应根据来水水质和排水去向,有针对性设置具备脱氮、脱盐、除氟(锂云母类)、除重金属等功能的处理设施。严禁生产废水未经有效处理直接排入城镇污
14、水收集处理系统。锂离子电池制造项目废水排放执行电池工业污染物排放标准(GB30484)要求;锂盐制造、正极材料制造、钛酸锂负极材料制造等项目排放的废水污染物应符合无机化学工业污染物排放标准(GB31573)要求;石墨类负极材料制造等执行污水综合排放标准(GB8978)相关要求。有地方污染物排放标准的,废水排放还应符合地方标准要求。第八条土壤及地下水污染防治应坚持源头控制、分区防控、跟踪监测和应急响应的防控原则。项目应对涉及有毒有害物质生产、使用、贮存、运输、回收、处置、排放的装置、设备设施及场所,提出防腐蚀、防渗漏、防流失、防扬散等土壤和地下水污染防治具体措施,并根据环境保护目标的敏感程度、项
15、目平面布局、水文地质条件等采取分区防渗措施,提出有效的土壤、地下水监控和应急方案,避免污染土壤和地下水。对于可能受影响的地下水环境敏感目标,应提出保护措施;涉及饮用水功能的,强化地下水环境保护措施,确保饮用水安全。涉及土壤污染重点监管单位的新建、改建、扩建项目,需提出土壤污染隐患排查、土壤和地下水自行监测相关要求。第九条按照减量化、资源化、无害化原则,妥善处理处置固体废物。NMP废液、废浆料等应严格管理,规范其收集、贮存、资源化利用等过程各项环境管理要求;废水处理产生的结晶盐作为副产品外售的应满足适用的产品质量标准要求;鼓励锂渣综合利用,无法综合利用的明确处理或处置去向,属于危险废物的应落实危
16、险废物相关管理要求。固体废物贮存和处置应符合危险废物贮存污染控制标准(GB18597)、危险废物填埋污染控制标准(GB18598)、一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599)、危险废物焚烧污染控制标准(GB18484)等相关要求。第十条优化厂区平面布置,优先选择低噪声设备和工艺,采取减振、隔声、消声等措施有效控制噪声污染。加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理,同时避免突发噪声扰民。厂界噪声应满足工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348)要求。位于噪声敏感建筑物集中区域的改建、扩建项目,应强化噪声污染防治措施,进一步降低噪声影响。第十一条严密防控项目环境风险,建立完善的环境风险防控体系,提升环境风险防控能力,确保环境风险防范和应急措施合理、有效。针对项目可能产生的突发环境事件制定有效的