微电子生产设备安装工程验收流程.docx

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1、微电子生产设备安装工程验收流程5.1 一般规定5.1.1 微电子生产设备安装工程验收可分为交接验收与竣工验收。5.1.2 微电子生产设备二次配管配线工程完成后，应对各系统进行检验，合格后应进行交接验收。5.1.3 微电子生产设备交接验收后应进行单机试运转。经调试、试运转，达到设备技术指标后应进行竣工验收。5.1.4 1.4微电子生产设备安装工程质量验收应按现行国家标准建筑工程施工质量验收统一标准GB50300的有关规定执行。设备交接验收应按每台设备的安装工程及每台设备的配管配线工程各划为一个检验批，并按设备安装工程及设备配管配线工程各划为一个分项工程进行设备交接验收。5.2 交接验收5. 2.

2、1建设单位接到安装单位按表D.0.5的格式及内容填写的微电子生产设备安装工程交接（竣工）验收报告后，应组织施工单位、设计单位组成验收组，并应根据施工合同、本标准及设备技术文件的规定进行交接验收。5. 2.2交接验收应在下列阶段进行：1设备找正、调平后，进行设备安装交接验收。2设备配管配线完成后，进行配管配线交接验收。5.2.3交接验收时安装单位应提交下列资料：1微电子生产设备安装工程施工合同。2主要材料合格证或质量保证书。3设备开箱检查记录。4设备安装检验批质量记录及分项工程质量验收记录。5设备配管配线检验批质量记录及分项工程质量验收记录。6管道焊接检验记录。7设备二次配管压力试验、冲（吹）洗

3、记录；8竣工图及设计变更文件。9工程质量事故处理记录。10设备随机技术文件。5.2.4微电子生产设备安装工程质量主控项目，应按下列要求和方法检查：1设备安装的平面坐标位置应符合设计要求。检验方法：对照图纸用钢皮尺检查。2垫板安装位置应准确、接触应紧密、无松动现象。检验方法：目测和用小榔头轻击垫板检查。3防位移、防倾倒的压板设置方向应正确、紧固牢靠。检验方法：对照设备安装使用说明书目测和用小榔头轻击压板检查。4特殊基础上平面不平度、安装水平度应符合要求，调整水平度的螺脚均应与垫板紧密接触。检验方法：用水平尺和塞尺测量基础上平面不平度；用水平仪测量基础水平度，抽拉垫板检查接触紧密度。5设备安装的水

4、平度、垂直度应符合设备安装使用说明书的要求。检查办法：用水平仪测量。6二次配管的管材、阀门应符合设计要求，并应有产品合格证和产品质量证明书。检验方法：查看设计图纸、产品合格证和产品质量证明书。7管线布置和走向应符合设计要求。检验方法：对照图纸检查。8管道的对接焊缝处及曲管处严禁焊接支管；焊缝距起弯点、支吊架边缘应大于50mmo检验方法：目测或尺量。9管道支吊架间距应符合设计要求。检验方法：观察或尺量。10二次配管压力试验应符合本标准第3.11.5-3.11.7条的合格要求。检测方法：查看试验记录。11二次配管冲（吹）洗应按本标准第3.11.9条的规定进行，并应用洁净白绸布检查，无污染物应判为合

5、格。检测方法：查看记录。12二次配线的电线电缆规格、型号应符合图纸要求；绝缘、相序应符合设备技术文件或现行国家标准建筑电气工程施工质量验收规范GB50303的有关规定。检验方法：对照图纸检查，用相应电压等级的兆欧表检查。13接地连接应正确可靠，并应符合现行国家标准电气装置安装工程接地装置施工及验收规范GB50169的有关规定。检验方法：目测或测试电阻。5.2.5微电子生产设备安装工程质量一般项目，可按下列要求和方法检查：1设备安装用的垫板表面应无尘无油，每组不应超过三块。检验方法：观察或用白绸布擦拭检查。2设备跨壁板安装的密封应严密。检验方法：目测，必要时进行夜间漏光检查。3防微振基础周围与活

6、动地板之间应柔性接触，嵌入的柔性胶条应牢固。检验方法：目测与手触检查。4有坡度要求的管道，其坡度应符合设计规定。检验方法：用水准仪测量。5管材、附件和阀门用螺纹连接时，其螺纹应清洁规整、无断丝乱丝;镀锌件的镀锌层应无损伤、无锈斑；螺纹接口填料应无外露。检验方法：目测。6法兰连接应符合下列规定：1）对接应同心、平行、紧密并与管中心垂直。2）衬垫的材质应符合设计要求，且不应超过一层；螺栓露出螺母的长度应一致，宜为露出3个螺距。检验方法：目测。7不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。检验方法：目视。8阀门安装应符合下列规定：D型号、规格应符合设计要求。2）进出口方向应正确。3）手轮朝向应合理

7、。检验方法：对照图纸检查型号、规格，目测检查安装的正确性。5.2.6验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论。参加验收单位代表应在表D.0.6上签字。5.3竣工验收5.3.1建设单位接到微电子生产设备调试单位按表D.0.5的格式及内容填写的微电子生产设备安装工程交接（竣工）验收报告后,应组织施工单位、供货单位、设计单位组成验收组，并应根据施工合同、设计文件、本标准及设备技术文件进行微电子生产设备安装工程竣工验收。5.3.2设备安装工程竣工验收时，调试单位应提供每台设备的单机试运转记录。5.3.3验收组应对微电子生产设备安装工程的所有工程内容进行全面审核、检查，检查时应做好记录，各项指标符合

8、设计要求应判为合格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标。5.3.4验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论，同时应填写表D.0.7,参加验收各单位代表应签字。5.3.5微电子生产设备安装工程验收合格后，应竣工验收。5.4验收不合格处置5.4.1 当微电子生产设备安装工程、设备二次配管配线安装工程不符合质量要求或设备工艺技术指标不符合要求时，应按下列要求处理:1经返工后的设备，安装检验批、二次配管配线检验批应重新进行验收；2经返修后的检验批仍能满足安全和使用性能要求时，可按技术处理方案和协商文件进行验收。5.4.2经返修后仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程不得进行验收。表D.

9、0.1设备开箱检查记录工程名称工艺平面图号设备名称设备型号国别/制造厂设备位置编号外包装情况：接受前倾斜是否超限：内包装情况：接受前振动是否超限：设备外观情况：备件名称及数量：备注：建设单位：代表（签章）：年月日海关商检：代表（签章）：年月日施工单位：代表（签章）：年月口程质量验收记录用表D.0.4设震D速能蝌孕蟒强省嘤蜀酶赛箍娥宝；打胸食辗。.4的规ft工程名称合同编号建设单位开工口期交接口期（竣工日期）施工单位项目技术负责任人项目专业质量检验员设备安装完成情况二次配管完成情况工程质量验收资料状况质量控制资料状况施工单位项目经理项目经理：年月日建设单位审批意见项目负责人：年月日表D.0.4设

10、备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录工程名称设备配管图号设备名称型号设备位置编号施工单位项目经理专业技术负责人执行标准及编号序号管道系统名称（介质）压力试验气密性试验泄漏性试验吹（冲）洗施工单位检查评定记录建设单位验收记录1234567891011121314151617181920施工单位检查结果评定项目专业质量检验员：年月日建设单位验收结论项目专业技术负责人：年月日微电子生产设备安装工程交接（竣工）验收报告内容及格式应符合表D.0.5的规定。表D.0.5微电子生产设备安装工程交接（竣工）验收报告工程名称合同编号建设单位开工日期交接日期（竣工日期）施工单位项目技术负责任人项目专业质量检验员设备

11、安装完成情况二次配管完成情况工程质量验收资料状况质量控制资料状况施工单位项目经理项目经理：年月日建设单位审批意见项目负责人：年月日设备安装（配管配线）分项工程质量验收记录内容及格式应符合表D.0.6的规定。表D.0.6设备安装（配管配线）分项工程质量验收记录工程名称生产设备平面布置图号施工单位项目经理项目技术负责人序号检验批部位施工单位检查评定结果验收结论12345689101112131415161718验收单位建设单位施工单位设计单位（公章）项目负责人：年月日（公章）项目技术负责人：项目经理：年月日（公章）项目负责人：年月日微电子生产设备安装工程竣工验收记录内容及格式应符合表D.0.7的规

12、定。表D.0.7微电子生产设备安装工程竣工验收记录工程名称生产设备平面布置图号施工单位项目经理项目技术负责人分包单位分包单位负责人分包单位技术负责人序号分项工程名称检验批数施工单位检查评定验收意见12345689101112质量控制资料安全和功能检验（检测）报告感观质量验收建设单位设备供货方施工单位设计单位施工单位分包单位验收单(公章)(公章)(公章)(公章)(公章)位项目负责人：代表：单位负责人：单位负责人：项目负责人：年月日年月日年月日年月口年月日设备安装技术参数设备安装技术参数应符合A.0.1的要求。设备名称型号用途包装箱尺寸毛重(kg)毛重(kg)毛重(kg)主体尺寸主要部件尺寸维修空间前(mm)后(mm)左(mm)右(mm)地基要求水平度微振电源电源性质电压(V)相数功率(kW)接地电阻(C)itt水电阻率MQ.cm(25C)温度()压