白光干涉仪和共聚焦显微镜的区别.docx

《白光干涉仪和共聚焦显微镜的区别.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《白光干涉仪和共聚焦显微镜的区别.docx（4页珍藏版）》请在第一文库网上搜索。

1、白光干涉仪和共聚焦显微镜的区别对于现代愈发复杂的工艺检测，诸如半导体、电子封装及光学加工等产业中，由于表面微观轮廓结构的准确性决定着产品的功能和效能，所以不管是抛光表面还是粗糙表面的工件（诸如半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。同为微纳米级表面光学分析仪器，白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。1、测量原理白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，实现器

2、件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器;干涉条纹由像干涉条纹光强度包线当测试光光料*11和修考光光和12的光程箜满足如卜关系式：当m为弱数时.光程差为半波长整数倍.形MT汉晦条仪，im为奇敏时.先用经为波长整数倍.形成干涉明条纹.由于光程1星连续的,最上：袒：明仁；IUfrtJffJ1祖条仪.共聚焦显微镜是以共聚焦技术为原理，实现器件微纳米级表面形貌测量的光学检测仪。v6oo（决It焦显am被测对象焦平面的共匏面光电探测器共焦显微镜光路示意图2、应用白光多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；（SUPerVieWW1白光干涉仪测量行程有140*100*100mrn,对于测量物体整个区域表面情况，还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。）超光滑透镜测量自动拼接功能大尺寸样品拼接测量而共聚焦更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。2tm20.9Sm纸纤维PCB板基材