聚氨酯无纺布复合抛光垫.docx

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1、一吟 Sil：ICS良_-AX.A刖本文件按GBT1 1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起 草。本文件由上海市新材料协会提出。本文件由上海市新材料协会标准化技术委员会归11。本文件起草单位：本文件主要起草人：本文件于2021年 月 日首次发布。无纺布/聚氨酯复合抛光垫1范围本文件规定了无纺布/聚氨酯豆合抛光垫的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于无纺布/聚氨酯复合抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等领域，还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、被、熔融石英、磷化锢、胡酸锂、 也酸锂、不锈钢、铝、膨

2、胀玻璃抛光.2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。CBb2411-200也燃料和硬橡胶一一使用硬度计测定压痕硬度（邵氏硬度）一二带格式的：字体颜色：自动设亘GB/T3505-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数二带格式的：字体颜色：自动设.GBfT6342-1996泡沫塑料与橡胶 线性尺寸的测定GB/T6343-2009泡沫塑料及橡胶表现密度的测定GB/T 6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T6624-200

3、9联抛光片表面质量目测检验方法GB/T 24442.1-2009纺织品压缩性能的测定第I部分：恒定法GBfT29507-2013硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。无纺布/聚氨时复合抛光垫 nonvovens/polyurethane composite polishing pad疑氨酯溶液与无纺布基底通过特定的工艺豆合而成。；带格式的:字体颇色：自动设置4分类无纺布/聚氨酯更介抛光型按产品的邵尔C硬度不同分为:PGFS一产品的硬度为65 + 5也PG-M产品的硬度为75+5；PG-H产品的硬度为855。45技术要求带格式的：缩进：左侧：0厘

4、米，首行缩进：。照h/15.1规格尺寸一二带格式的：字体颜色：自动设置/带格式的：字体颜色：自动设置I无纺布/聚凝幽夏台抛光垫规格尺J见行W360mm、913mm、1120mm、尺1220mm、01300mm、/带格式的：字体颜色：自动设置） (nn. 丫以-t,z7j l.2-3nn. 歌生片， R；. HhJ 出工一ZZ54. 2外观带格式的：字体：（默认）Times Ner Roman,（中文） 宋体，字体颜色：自动设？T,图案：消除带格式的：/体颜色：自动设置无纺布/聚氨酯比合抛光垫外观为衣而平血型或网格型、螺旋线型等开槽的薄垫.45. 3物理性能无纺布/聚氨酯匆合抛光垫物理性能应符合

5、表M的要求。表，1物理性能指标项目要求PG6SPG-MPG-H密度，gCB,0.3 0.040. 37 0. 0450. 450.058压缩率，%513 0.52 0.5压缩弹性率.%75570570 590硬度,邵尔C65575585+5吸水率，%12010ooo801045.4应用性能无纺布/聚氨酯笑合抛光垫应用性能应符合表22的要求。表22应用性能指标项目要求PGSPG-MPG-H去除率 um/rnin0.6-0. 70. 7-0. 80. 8-0. 9平整度，TTVm, Um222坑点划伤数，%2.52.50.20.250.356试骗方法56.1尺寸按GB/T 6342-1996规定进

6、行测定l。56. 2外观按GB/T 24442.2009规定进行，,样品尺寸为30InmX 30mmX 1.2mm,压脚面积& 785cM 速度，手动加载，轻压载栉300*fcm2,加压时期0s,测定共厚度I重压载荷l800gfcm2,加压时间WS.测定乂：.厚度也56. 5压缩弹性率按GB/T 24442. 1-2009规定进行，样品尺寸为30mmX 30mmX 1.2mm,压脚面积a 785c叫-载 述糜，手动加载，轻压载荷300gfc加压时间30s,重压载荷18荷gfcm2,加压时间陋，恢豆时间60s.带格式的：字体颜色：自动设置 带格式的：;体颜色：自动没置.H7 常格式的：字体颜色：

7、自动设徨 常格式的：字体颜色：IEJ设徨二 带格式的：字体颜色：门动设附，卜标 格柘玄鬲;字体颜色：门动设巴 带格式的；字体前色：自动设置 带格式的：字体佻色：自动没置.ITT 带格式的：字体法色：自动设置一 带格式的：.?体颜色：自动设置 一 常格式的：休，色：I EJ设置一 常格式的：卞体颜色：门动设行,)：1:56. 6硬度按GB/T 2411-2008规定进行，采用Shore C型硬度计。56.7吸水率从产品中裁取5个尺寸为IOomm*10Omm*1. 2mm的样品，称重Yl,样品质量至少为1g。将样品放入金属 网中，随后将带Tr样品的金属网放在容器中，距离液面约20Inm处.（60

8、D s后取出样品和金属网，垂 直悬挂样品（1203） S,对样品称重Y2,按式1计算吸水率X= （M4_ Ml）/M, 式中：,：带格式的：字体颜色：自动设设!之:带格式的：厚体颜色：口动设置X吸水率，%Ml浸水前样品质量，mgM2浸水后样品质Si, mg取5次测重结果的平均值。56. 8去除率56. 8. 1取8M2片尺寸为片8英士吟JttHX的里面研废未绐光的硅片（N型单晶硅，P参杂）J按 SB/T 6618-2009规定测定硅片厚度ho。带格式的：字体偏色：自助设置 带格式的：字体颜色：自动设置 带格式的：字体：（国同J京泳带格式的：字体：（国近）东体带格式的：字体：（国际）宋体池 生2

9、圈尺寸直径为婚嗯X mmj夕度L 2耐的X词蚪形j光场和出井装入抛光机中,ff盘即个抛光头7每盘个抛光头共0s9片？：采用抛光垫配合倒化硅抛光液（SwoLL504A牌号J光硅片衬庭,抛光工莒及定为康力LMOI,转速：45 Fp抛光时间：20*yg0tin:温度：4比卬5：抛光液稀释比上2Qsj： so。按附录A规定抛光硅片一56. 8. 3按GB/T 6618-2009规定抛光后硅片的厚度h0按卜式计算去除率Y： y-1-h0(2)式中:Y去除率， m/minhi抛光后硅片的厚度，Umho抛光前硅片的厚度，Umt抛光时间，min56. 9平整度按附录规定抛光后,按GB/T 29507-2013

10、规定测定硅片。56.10坑点划伤数带格式的：区瓷拼n和语法m式的：字体：（国际）宋体带格式的;坎认段落字体，字体：宋体带格式的：段,左,行即：固定俄20崎，字体对齐芬为：自动对齐带格式的：检杳拼骂和语法带格式的：字体：（国京泳:带格式的：字体：号体颜色：门动议区，（国际）宋体带格式的：字体：（默认）宋体，（中文）宋体.字体翁苞：自动设置带格式的：字体：字体钝色：门动设置.（国际）束体奇格式的：字体：（国际）宋体带格式的：字体：字体颜色：自动设置，（国际）宋体常格式的：字体：（国际）末体常格式的：字卜，仙：家体，。家工常格式的、字体：（国同J未体带格式的:工心（默认京体，（中丈）宋体带格式的：字

11、凡：国际）东体，格式的：字体：然认：人，；.：U大叫 带格式的：字体：N际）木体:带格式的：依阿修和治法56.11粗糙度-2规定抛光后，按SB/T 6624-2009双定测定硅片。带格式的：字体：宋体,不检查拼写或语法带格式的：默认段落个体.字体：（默认）Times New Roman,不检ft推写或用法按附录Aa制按附录AJ%2规定抛光后,按GB/T 3505-2009规定测定硅片。67检验规则67.1检缝分类检验分为出厂检验和型式检验。67. 1. 1出厂检验出厂检验每批检验一次，检验项目为尺寸、外观、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度、。67.1.2型式检验型式检验为全项目检验。有下列情况之

12、一时，应进行型式检验：a）新产品或老产品转产生产的试制定型鉴定：b）正式生产后，如配方、原料、工艺改变，可能影响产品性能时：c）产品停产一年以上，恢且生产：d）正常生产时，卷年进行一次检验：c）出厂检验结果与上次蛰式检验有较大差异。67. 2组批检验以批为单位。以同一卷无纺布基布制备的抛光垫为一个检验批。包.3抽样出厂检验样本应从每一批中随机抽取3片抛光垫作为试验样品进行检验，曳验抽样需在同一批中 抽取。型式检验的样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取5片抛光垫作为试验样品进行检验。67.4判定与复验规则检验结果若有任何一项不合格者，应重新取两份试样对该项目进行复验，且验结果仍不合格时，则 该批

13、为不合格品。78标志、包装、运输、贮存78.1标志包装容器上应标有下列内容：a）产品型号和中文名称：b）规格尺寸：c）产品标准号：d）产品数量，以PCS表示：e）生产厂名：f）生产日期和批次；g）有效贮存期。K.2包装IOPCS/箱或者20pcs箱,箱子材质为硬纸板，可根据客户要求调整包装数适。78. 3运输产品在运输时应防止雨淋、日光曝晒，并符合交通运输部门的有关规定。8.4贮存应贮存在阴i京、通风、干燥的仓库内，防止日光直射，并应隔绝火源，远离热源。在符合上述贮运 条件下，自生产之日起，产品保质期年。作格式的：字体：（国际） 黑体附录A（规范性附录）抛光垫抛光试验方法带格式的：参考文献、索

14、引标版2级，缩进：左恻: 0 麻悬挂缩进：5.25字符，定义网格后不调整右缩进，段落间距段前：12硫,段后：12场，不调 整西文与中文之间的空格,不调猱中文和之字之间的 空格A 2. 1试验设备式的：.工体：（默认+中文正文（宋体），（中文） +中文正文（宋体）鲁格式的：字体：（默认 +中文正文（宋体），（中文） +中文正文（宋体）带格式的：字体：（国际）黑体育格式的：字体:黑体带格式的：字体：（国际）黑体带格式的Ln常格式的A2I试骏材料.双面研磨硅片，旦英寸（N型单晶硅，P参杂）上抛光垫,常格式的 常格式的 带格式的 带格式的 带格式的 倍格式的 带格式的氯化硅抛光液A 3试验步奥按1： 20si： 30比例此例抛光液一将抛光举！ , ；”面研构H：片一 J .4,每一台机器设定2个抛光头抛光L 5 ：一T； “东川抛光垫而.ji 他