工业洁净室洁净度标准.docx

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1、工业洁净室洁净度标准国家标准一空气洁净度等级空气洁净度等级（N）大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pcm3）0.1um0.2um0.3um0.5umIum5um1102210024104310002371023584（十级）1000023701020352835（百级）10000023700102003520832296（千级）10000002370001020003520083202937（万级）3520008320029308（十万级）3520000832000293009（一百万级）352000008320000293000国际标准一空气洁净度等级划分空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒

2、径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）0.1um0.2um0.3um0.5um1.0um5.OumISOC1ass1102ISOC1ass2IOO24104ISOC1ass31,000237102358ISOC1ass410,0002,3701,02035283ISOCIassS100,00O23,70010,2003,52083229ISOC1ass61,000,0OO237,00O102,00O35,2008,320293ISOC1ass7352,00O83,2002,930ISOC1ass83,520,OOO832,00O29,300ISOC1ass935,200,0008,320

3、,0OO293,000注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平无尘车间(洁净室)等级说明首先是等级定义的模式如下：C1assX(atYm)其中X是无尘室的等级，例如IOO或10000等等，Y是粒径如0.2m,0.5m等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：C1ass1(0.1mz0.2mZ0.5m)C1ass100(0.2m,0.5m)C1ass100(0.1m,0.2m,0.5m)在CIaSSeS100(M3.5)andGreater(C1ass100,1000z10000.),一般看一个粒径即可。在CIaSSeS1essthan100(M3.5)(C1ass10,1.),一般要看多几个粒径。第二个是规定无尘室的状态，例如：C1assX(atYm),At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个是自订微粒浓度上限，一般在As-bui1t时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：C1ass10000(0.3m=10000),As-bui1tC1ass10000(0.5m=1000)zAs-bui1t这样做的目的是确保无尘室在OPeratiOna1状态时，依然有足够的微粒控制能力。