第一部分技术要求.docx

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1、第一部分技术要求一、采购标的清单序号货物名称进口/国产单位数量预算单价（万元）是否为核心产品1双光子聚合高分辨率3D打印机进口台1400是2数字化扫描系统进口台1140是3超分辨共聚焦干涉显微平台进口台1295是4凝胶成像系统国产台115是5微纳结构刻蚀机国产台133否6柔性电路流体喷印设备国产台150否7等离子键合机国产台14否8微纳米薄膜力学综合测试系统国产台139否9原位拉伸平台国产台118否10微细振动检测器国产台120否11激光式直线型基础零部件综合性能测试台国产台130否12H型专用成型机国产台175否13工业3D自动扫描系统国产台136否14视觉机器人自动夹取国产台39.9否15

2、智能检测仪国产台129否16机器人自动堆码国产台15.3否17专用流转模具国产台125否18重型自动化平台国产台194否19大型智能隧道炉国产台159否20专业级桌面生物3D打印机国产台126否21活细胞荧光动态智能检测系统国产台119否22活细胞动态智能检测系统国产台19否23流式细胞仪国产台135否24高帧率视觉检测器国产台114否25微观结构视觉检测仪国产台17否26光探测器国产台10.5否27深冷型光电探测器国产台121否28窄带宽光纤激光器国产台13.5否注：1、标注产品为进口产品，但不得拒绝有符合条件的国产产品参与采购活动。注明的为国产产品（国内），不允许提供进口产品参加投标。2、

3、本项目进口设备响应报价均为免税价格且包括进口代理费。3、供应商投标报价不得超过各品目的预算金额及项目最高限价，否则视为投标无效。二、技术参数（一）双光子聚合商分辨率3D打印机（数量：1台）序号指标项指标重要性及指标要求1双光子聚合高分辨率3D打印机1、系统能够利用双光子聚合原理，实现亚微米精度复杂结构的3D打印。1.1 该系统原生的适用于生物学以及生物医学应用领域的应用。1.2 为了取得最高的精度以及分辨率，该系统需采用浸入式激光光刻技术。1.3该设备需具备自动界面找寻，倾斜拼接，壳层打印，自动点胶以及机器自动识别等增强的自动化功能以方便用户使用。2、激光器：飞秒光纤激光器2 .1中心波长78

4、0nm10nm3 .2平均激光功率2250mW3、振镜扫描系统：具备超高精度的振镜扫描系统，单个有效写场最大直径不小于1750微米，最高扫描速度不低于600毫米每秒。4、可作为生物3D打印机，该设备原生的支持无菌3D打印环境。5、该系统加工结构能达到的横向最小线宽需不大于200nm6、该系统加工结构能达到的结构垂直方向最佳分辨率应不大于1000n07、该系统加工各类微纳光学器件能达到的表面粗糙度RaWIOnmo8、需提供倾斜拼接技术：对于一些大块的结构，其尺寸超出了单次振镜扫描的最大面积，设备需要能够由若干个单次振镜扫描场通过拼接的方式来完成打印。在这种情况下，如果简单的进行拼接，会有一部分参

5、与聚焦的激光通过已经固化的光刻胶区域。因为固化前后光刻胶的折射率不同，这种光径的变化，从而导致了光斑焦点形状质量的降低甚至焦点的位移。为了克服这种缺陷，设备需要具备倾斜拼接的技术使得参与聚焦的光可以避开已经固化过的光刻胶部分，从而保持了光斑焦点的质量。 9、打印材料满足能够使用第三方或定制材料。 10、系统采用浸入式激光光刻技术。 11、配备有双光子灰度光刻技术，光斑调节速率高达IMHz。 12、加工结构的表面粗糙度可达RaWIonm。 13、加工结构的细节精度可达1000 14、加工结构的形状精度达到或者优于200nmo 15、加工样品时自动界面找寻精度最高可达40nm。 16、可批量加工，

6、12小时内可加工200个典型结构。 17、适用不同的样品衬底如一般显微镜用衬底(3x1w/76mmX26mm),晶圆(1“to6”/25.4mmto150mm)等等。适用材质须包括但不仅限于玻璃，硅片，透明或不透明衬底均适用。 18、系统包括高精度打印模组，其物镜倍率/数值孔径分别为63x/1.4,工作距离360m,单个有效扫描区域不小于270m,最大扫描速度IOOmms,自动探测衬底精度W30nm,拼接精度W500nmo19、系统包括中精度打印模组，其物镜倍率/数值孔径分别为25x/0.8,工作距离380Unb单个有效扫描区域不小于700m,最大扫描速度250mms,自动探测衬底精度W50n

7、m,拼接精度W750nmo20、系统包括大尺度打印模组，其物镜倍率/数值孔径分别为IOx/0.3,工作距离2600m,单个有效扫描区域不小于1750m,最大扫描速度625mms,自动探测衬底精度W150nm,拼接精度W2000nmo21、设备需具备自动界面找寻，倾斜拼接，壳层打印，自动点胶以及机器自动识别等增强的自动化功能以方便用户使用。22、设备所采用的激光器为飞秒光纤激光器。22.1.所用激光器的中心波长780nm+10nm023、所用激光器的平均激光功率2250mWo24、振镜扫描系统：具备超高精度的振镜扫描系统，单个有效写场最大直径不小于1750微米，最高扫描速度不低于625毫米/秒。

8、#25、可更换不同的打印头，更换操作用时不超过一分钟。26、系统最大行程范围不小于50x50x20mm3,使用高倍率高数值孔径打印头时此行程范围内的邻近写场拼接精度等于或优于500纳米。27、该设备需集成至少三个可视化模组以对样品进行精确定位以及对曝光过程进行实时监控。28、系统能够通过集成的触摸屏面板进行简单直观的操作，如打印程序的准备，启动和监控，以及打印系统的配置更改，校准等等操作。系统需要能够支持打印任务的堆栈功能以实现24/7不间断自主打印。29、系统需集成花岗岩底座以及气动减震系统以实现高度的机械稳定性和热稳定性。30、系统加工结构能达到的横向最小线宽需不大于200nio31、系统

9、加工结构能达到的结构垂直方向最佳分辨率应不大于1000nu32、设备需要具有二次校准功能。如果工件需要经过两个不同的加工环节，那么设备需要能够准确的依据第一步加工情况以校准第二步样品加工的位置33、设备能够克服因球差（spherica1aberration）引起的聚焦光斑在沿Z轴方向的不稳定性，达到高度方向均匀一致的工件加工品质。34、提供壳层快打技术：大块实心结构的打印过程较慢。该快打技术的核心就在于打印流程的优化。能够对结构壳层以及其中的支撑部件的打印使得大块实心结构的形状得以保持。然后在显影过后，设备能够通过紫外曝光的方式将壳层内尚未固化的材料部分进行一次固化。设备需具备此项技术，尤其对

10、于微透镜阵列等等较大结构的加工非常重要。#35、需提供倾斜拼接技术：对于一些大块的结构，其尺寸超出了单次振镜扫描的最大面积，设备需要能够由若干个单次振镜扫描场通过拼接的方式来完成打印。在这种情况下，如果简单的进行拼接，会有一部分参与聚焦的激光通过巳经固化的光刻胶区域。因为固化前后光刻胶的折射率不同，这种光径的变化，从而导致了光斑焦点形状质量的降低甚至焦点的位移。为了克服这种缺陷，设备需要具备倾斜拼接的技术使得参与聚焦的光可以避开巳经固化过的光刻胶部分，从而保持了光斑焦点的质量。# 36、厂家能够生产和提供可直接双光子聚合的类PDMS类材料。# 37、厂家能够生产和提供适合双光子聚合的熔融石英玻

11、璃材料。# 38、设备适合加工超高精度光学超构表面。# 39、设备具备加工微透镜的能力。（二）数字化扫描系统（数量：1台）序号指标项指标重要性及指标要求1硬件核心技术指标1、明场彩色相机，高色彩还原性，高分辨率CMOS2500万像素。2、像素数像2448*2048,像元23.45mX3.45u 3、荧光相机高像素数1200万像素，3.45*3.45Un1像元。4、荧光成像速度。15mm15mm区域20X物镜单荧光通道（50ms曝光）成像扫描时间W2min（荧光成像时间具有样品依赖性）。 5、进行大批量切片扫描选择性配置自动上样的1Oader。2软件核心技术指标1、智能化软件，控制一切外围部件并

12、具有丰富的软件功能。包括聚焦地形图功能，保证快速准确扫描不平整或厚样品；支持连续实时对焦。3D成像后或实时进行EF1景深扩展。无级缩放：标尺随不同倍率而改变，实现局部观察；mu1ti-1ayer模式，支持分步扫描后，多通道自动对齐。3硬件部分1、光路设计：专为切片扫描优化设计的无限远光学系统，光程短，光效率高。2、带自动控制功能的高速XY电动载物台。3、明场光源：高色彩还原性；14W1ED光源，使用寿命250000小时。4、可支持明场、荧光、暗场、相差、偏光等成像方式，方便随时升级。5、显微镜物镜电动转换，物镜数量26,支持干镜、油镜、硅油物镜、相差物镜，部分物镜如下：2,N.A.20.06；

13、10,N.A.0.4；20,N.A.20.8；40,N.A.20.95；60X0,N.A.1.42（支持自动加油）；100X0,N.A.1.45（支持自动加油）。6、成像设备：6.1、 明场彩色相机，高分辨率CMOS2500万像素；6.2、 面阵式扫描成像；6.3、 色彩还原好，聚焦更准确，样品宽容度高，成像质量更好；6.4、 像素数像2448*2048,像元23.45UmX3.45u7、扫描速度：15mmX15mm区域，20X物镜扫描时间W80秒。8、扫描方式：SmartScan,样品定制性智能扫描方式，聚焦与扫描分区域进行，使采集速度最大化，能够边扫描边做图像拼接；9、电动Z轴：全电动闭环

14、式快速自动对焦。 10、样本(切片)夹：26片，可支持1X3、2X3、3X4、4X5英寸等多种标本。 11、加载器1oader：可以支持35片以上标准载玻片。 12、系统工作站：工作站,Inter(R)Core(TM)i7-8700kCPU,6核处理器，主频23.7GHz,内存232GB,硬盘22TB,专业级图形卡，高分辨率27英寸1ED显示器，22560*1400。 13、外形设计一体式主扫描单元，无需防震台，主机电动部件一键启动，箱式外观无需暗室操作。4荧光部分 1、电动荧光成像装置，电动激发块转盘28孔位。 2、荧光复眼照明装置：先进的荧光复眼照明系统，能够确保视野内荧光强度均匀，并保证不同视野间切换，荧光强度不变。 3、长寿命1ED光源：两种1ED可选，15000小时以上灯泡使用寿命，全光谱可见，通过不同