气体尘埃粒子计数器的校正方法.docx

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1、气体尘埃粒子计数器的校正方法本文介绍的是气体尘埃粒子计数器的校正所需设备、基本原理已经基本步骤。一、校正所需设备：1、IOO级洁净房或洁净台2、一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器3、各粒径的标准粒子4、可产生脱离水（D1水）的纯水系统或类似装置5、标准粒子气体产生器6、其它普通电器二、校正的基本原理：标准粒子通过255粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校0.3Um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一定要弄清楚其流速，取样时间

2、，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。三.、校正的基本步骤：现假设对一台常见的RoycoHH200作校正1、首先，要清楚RoyCo323和HH200A有何差别,其测试原理一样，但ROyCo323流速为ICFM（立方英尺/分钟），而RoyCOHH200则为0.1CFM。2、将洁净台开机，工作半小时,其间内也打开RoyCo323和ROyCoHH200,让其预热半小时。3、准备好255的取样器管，并搭接好其所有气体管路。4、将配好的标准液（如0.301Um）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。5、设置Royco323和RoycoHH200的基本参数（1）取样时间都设置为00：01：0

3、0（2）取样次数都设置03（3）取样模式都设置为AUto（4）间隔时间都设置为00：00：05（5）读数模式都设置为CUn1UIatiVe注：以上设置相同，因其流速有10倍差，故Royco323测试结果会是RoycoHH200的10倍。6、打开255电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约60SCFH时后，保持其工作状态。7、让RoyCo323和RoyCoHH200同时工作，看其三次的平均结果，若在20%以内，视为合格。8、拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。9、以上校正只是对比校正，尚可用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。