碳化硅衬底片出货标准.docx

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1、碳化硅衬底片出货标准一、目的本标准规定了碳化硅衬底片出货的要求，以确保产品满足客户和公司的高品质要求。二、碳化硅衬底片出货标准1 .尺寸精度(1)长宽尺寸：土0.5mm；(2)厚度尺寸：土O.1mm。2 .表面质量(1)表面应光滑、洁净，无划痕、杂质、色差及明显凹陷；(2)表面粗糙度Ra应不大于0.5m.3 .化学成分(1)碳含量应在规定范围内，以保证材料的物理和机械性能；(2)其他微量元素含量也应符合相关标准。4 .物理性质(1)密度应为3.15gcm3左右，以符合材料强度和刚度的要求；(2)热膨胀系数应在规定范围内，以适应不同的应用环境。5 .机械性能(1)硬度：HV1OOO以上；(2)抗

2、拉强度：IOOOMPa;(3)抗压强度：800MPa;(4)抗弯强度：250MPao6 .热学性能(1)热导率：300WmK；(2)热膨胀系数：410-6oCo7 .光学性能透光率应在规定范围内，以适应不同的光学应用。8 .稳定性(1)尺寸稳定性：在25。C温度下放置24小时，尺寸变化率应不大于。5%；(2)化学稳定性：在规定的环境条件下，经过一定时间后，其化学成分和物理性质应保持稳定。9 .无缺陷产品应无裂纹、气泡、夹杂物等明显缺陷。在出货前，需进行严格的质量检验，确保产品无缺陷。检验人员发现不合格的产品时,检验员有权拒绝在检验报告上签字,并可同时拒绝继续接收不合格的产品.只有当用户同意降低检验水平并采取相应措施后才接收产品.重大质量不合格将依据公司有关规定对责任部门实施考核，由质量控制部负责统计汇总每月不合格批次并上报总经理。每年由质量管理部组织相关部门对各类不合格的质量情况进行评审，并采取相应的纠正预防措施。只有当用户同意降低检验水平并采取相应措施后才接收产品.重大质量不合格将依据公司有关规定对责任部门实施考核，由质量控制部负责统计汇总每月不合格批次并上报总经理。每年由质量管理部组织相关部门对各类不合格的质量情况进行评审，并采取相应的纠正预防措施。