毕业设计论文任务书.docx

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1、R+、f毕业设计（论文）任务书（适用于工科类、理科类专业）毕业设计（论文）起讫时间：自2014年Z月24日至2014怔月14日共16周指导教师签名2014年2月25日教学院长（系主任）签名2014年3月8日一、毕业设计(论文)的课题背景So1-Ge1(溶胶-凝胶)法是一种低温合成材料的方法，是目前材料科学研究的热点之一。因为So1-Ge1技术以其特有的优点，通过简单的工艺能够实现在分子水平上薄膜成分的复合和有机-无机杂化，使薄膜具有传统方法无法得到的新型功能。采用So1-Ge1工艺制备光敏溶胶，通过旋涂、流延和提拉等工艺可获得光敏凝胶薄膜，它在紫外波段具有特征吸收峰。结合紫外曝光(掩膜曝光或双

2、光束干涉)和显影工艺可以将光栅结构引入光敏凝胶薄膜，获得凝胶光栅。这是一种基于化学法制备光栅结构的工艺，具有工艺简单、大量成膜、激光损伤阈值高等优点。在强激光实验和光通信领域的光学元件的制备中有重要应用前景。二、毕业设计(论文)的技术参数(研究内容)(1)Hfo2光敏凝胶薄膜的制备探索(2)折射率可调的二元光敏凝胶(SiO2ZrO2或SiO2Hfo2)薄膜的制备及其光敏特性研究(3)光敏凝胶薄膜上光栅结构的引入，光栅线宽为25m或1m(4)光敏凝胶薄膜及光栅结构的物性测量。(1)探索HfO2光敏溶胶的制备工艺，优化工艺方案，确定可行性(2)折射率可调的二元光敏溶胶(SiO2ZrO2SiO2Hf

3、O2)配制(3)光栅结构引入工艺研究，获得线宽为25m或1m光栅结构(4)溶胶体系、薄膜体系及光栅的物性测量。四、毕可乜设计(论文)进度安排序号设计(论文)各阶段名称时间安排(教学周)1文献调研第1、2周2HfOz光敏溶胶的制备探索第3、4周3HfO2光敏溶胶特性研究第5、6、7周4SiO2HfO2等二元溶胶的制备第8、9、10周5光敏凝胶薄膜上光栅结构的引入第11、12、13周6工艺全面总结第14周7论文写作，答辩第15周同组学生姓名：无五、应收集的资料及主要参考文献1徐翔.ZrO2光敏凝胶薄膜的制备及相关光学微结构加工工艺的研究.同济大学硕士学位论文，2006.2黄剑锋.溶胶-凝胶原理与技

4、术.化学工业出版社，2005.3周祖康，顾惕人，马季铭.胶体化学基础.北京大学出版社，1987.4H.Dammann.CoIorseparationgratings.AppIiedOptics,1978,17(15):2273-2279.5ChangheZhou,YanyanZhang,PenXi,etaI.SymmetriccoIorseparationgratings.ProceedingsofSPIE,2003,5201:174-179.6J.J.Yu,Q.Fang,Z.M.Wang,etaI.HafniumoxideIayersderivedbyphoto-assistedsoI-ge

5、1processing.AppIiedSurfaceScience,2003,208-209:676-681.7M.A1visi,M.DiGiu1io,S.GMarrone,etaI.HfO2fi1mswithhigh1aserdamagethreshoId.ThinSo1idFiIms,2000,358:250-258.刘冰，强亮生.溶胶-凝胶法制备光学杂化材料,化学进展，2005,17(1):85-90.9赵高扬，赵桂荣.感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微图形与微阵列中制备中的应用.功能材料，2004,35:3003-3005.10邢德财，杨李茗，冯国英，等.分频光栅的衍射特性及误差分析.强激光与离子束，2004,16(9).11陈德伟，李永平.用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析.强激光与离子束，2003,15(5).